[发明专利]一种红外透过率自动调节智能玻璃的产业化制备方法

权利要求书

1.一种红外透过率自动调节智能玻璃的产业化制备方法，其特征在于，其步骤如下：

(1)玻璃表面的结晶诱导层制备

在玻璃常规清洗后，在玻璃表面用离子束溅射方法溅射沉积5～20nm厚的Ti或Si单质元素薄膜，作为结晶诱导层；

(2)直流反应磁控溅射氧化钒薄膜

采用直流反应磁控溅射方法，在结晶诱导层上反应溅射沉积氧化钒薄膜；溅射时样品被加200V的负偏压，样品的加热温度为150℃；反应溅射靶材用纯度为99.96％的高纯钒与不同原子比的掺杂元素融合制成；反应溅射源气为Ar/O₂混合气体，Ar/O₂的流量比例为5％～10％；

(3)溅射薄膜的结晶热处理

沉积氧化钒薄膜后，采用卤素灯光加热的快速热处理技术对其进行热处理；整个热处理过程温度在450～550℃，时间为10～20分钟；退火气氛采用N₂/O₂混合气体，N₂和O₂都为液氮和液氧气化，其中N₂与O₂的流量比例为98％～99％：2％～1％。

2.根据权利要求1所述的产业化制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，在已清洗处理后的玻璃表面用等离子体增强化学气相沉积PECVD方法沉积40～80nm的SiNx薄膜替代所述Ti或Si单质元素薄膜，作为结晶诱导层。

3.根据权利要求1或2所述的产业化制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中，采用纯度为99％的普氮替代所述N₂/O₂混合气体，作为退火气氛。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤(2)中，所述掺杂元素为W、Mo、Nb、La、Ta、Pd中的一种或几种。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤(2)中，掺杂比例以需要得到的二氧化钒薄膜的相变温度和掺杂材料与钒的溅射率比率为标准，当相变温度在25～30℃时，掺Mo或Nb的原子比在3％～6％。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述步骤(2)中，掺W或La的原子比在1.5％～3.5％。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述步骤(2)中，掺Ta或Pd的原子比在4％～8％。