[发明专利]一种溶液辅助软压印方法在审
| 申请号： | 201410459137.3 | 申请日： | 2014-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN104238264A | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 谢惠民;戴相录;吴丹 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张大威 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 溶液 辅助 压印 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种溶液辅助软压印方法，其特征在于，包括以下步骤：
制作表面具有微结构的第一材料的软模板；
将抗蚀剂和有机溶剂配成溶液，其中，所述抗蚀剂不能被所述第一材料吸收，并且所述有机溶剂能被所述第一材料吸收；
提供基片，并将所述溶液滴加到所述基片上；
将所述软模板置于所述基片和溶液液滴之上，以使所述软模板和所述基片通过所述溶液液滴充分接触；
待所述有机溶剂全部被所述第一材料的软模板吸收并且所述抗蚀剂固化成为抗蚀剂层后，脱除掉所述软模板，得到载有抗蚀剂层的基片，其中，所述抗蚀剂层表面具有与所述软模板相反的微结构；
以所述抗蚀剂结构层为掩膜层，对所述基片进行刻蚀或沉积加工。
2.根据权利要求1所述的溶液辅助软压印方法，其特征在于，所述第一材料为聚二甲基硅氧烷。
3.根据权利要求1所述的溶液辅助软压印方法，其特征在于，所述抗蚀剂为聚甲基丙烯酸甲酯。
4.根据权利要求1所述的溶液辅助软压印方法，其特征在于，所述有机溶剂为丙酮。
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