[发明专利]一种激光扩束系统及激光加工设备

权利要求书

1.一种激光扩束系统，其特征在于，包括沿激光传输方向依次设置的前透镜组和后透镜组；所述前透镜组包括第一透镜，所述后透镜组包括第二透镜和第三透镜，所述第一透镜为双凹型或平凹型负透镜，所述第二透镜为弯月型或平凹型负透镜，所述第三透镜为双凸型或平凸型正透镜；所述前透镜组和后透镜组共焦构成伽利略望远镜系统结构；所述前透镜组和后透镜组可相对移动，使所述激光扩束系统对不同波长的激光进行等倍率扩束。

2.如权利要求1所述的激光扩束系统，其特征在于，所述第一透镜包括第一曲面和第二曲面，所述第二透镜包括第三曲面和第四曲面，所述第三透镜包括第五曲面和第六曲面；所述第一曲面的曲率半径为-19mm，所述第二曲面的曲率半径为13mm，所述第三曲面的曲率半径为623mm，所述第四曲面的曲率半径为56mm，所述第五曲面的曲率半径为61mm，所述第六曲面的曲率半径为-61mm，各曲率半径的公差为5％。

3.权利要求2述的激光扩束系统，其特征在于，所述第一透镜的中心厚度为1.5mm，所述第二透镜的中心厚度为3mm，所述第三透镜的中心厚度为8mm，各中心厚度的公差为5％；所述第四曲面和第五曲面之间的距离为1.3mm，各距离的公差为5％。

4.如权利要求3所述的激光扩束系统，其特征在于，所述第二曲面和第三曲面之间的距离为101mm，所述激光的波长为355nm。

5.如权利要求3所述的激光扩束系统，其特征在于，所述第二曲面和第三曲面之间的距离为105mm，所述激光的波长为532nm。

6.如权利要求3所述的激光扩束系统，其特征在于，所述第二曲面和第三曲面之间的距离为107mm，所述激光的波长为1064nm。

7.如权利要求1至6任一项所述的激光扩束系统，其特征在于，所述第一透镜、第二透镜和第三透镜的材料为Nd/Vd＝1.4/67。

8.如权利要求7所述的激光扩束系统，其特征在于，所述激光扩束系统的扩束倍率为8。

9.一种激光加工设备，包括激光器、扩束系统及聚焦系统，其特征在于，所述扩束系统采用权利要求1至8任一项所述的激光扩束系统。

10.如权利要求9所述的激光加工设备，其特征在于，所述激光器的输出波长为355nm、532nm或1064nm。