[发明专利]具有超高真空度的样品调整控制器

权利要求书

1.一种具有超高真空度的样品调整控制器，测量装置包含该样品调整控制器(1)、一X-Y-Z线性移动载台(22)及一真空腔(24)，所述样品调整控制器(1)是装置在所述X-Y-Z线性移动载台(22)中，并使所述样品调整控制器(1)配置于所述真空腔(24)之中，其特征在于，所述样品调整控制器(1)包含如下部件：

一控制部(12)，其上配置有多个控制把手(121/123/125)；

一中心杆(16)，其一端和所述控制部(12)连接；

一水平关节部(17)，其具有一垂直转动轴(172)，所述垂直转动轴(172)的一端配置一转轴(173)，藉由所述转轴(173)和所述中心杆(16)的另一端连接，且所述垂直转动轴(172)套设有一中轴齿轮(171)；

一垂直关节部(14)，其一端和所述垂直转动轴(172)的另一端固定连接，所述垂直关节部(14)是由一第一波纹管(141)及一第二波纹管(142)串接而成，所述第一波纹管(141)及所述第二波纹管(142)连接处和一传动齿轮(157)相接；

一样品部(13)，位于所述样品调整控制器(1)的底端，具有一样品座(131)及一样品载台(132)，所述样品座(131)和所述垂直关节部(14)的另一端连接，所述样品载台(132)位于所述样品座(131)的外侧表面，并有一前伞齿轮杆(135)贯穿于所述样品座(131)外侧表面，并和所述样品载台(132)相接；及

一传动部(15)，具有一第一传动杆(150)及一第二传动杆(155)，所述第一传动杆(150)及所述第二传动杆(155)皆有一端和所述控制把手(121/123/125)的其中之一相接，所述第一传动杆(150)套设有一齿轮(152)，且所述第一传动杆(150)的另一端配置有一伞齿轮(151)，而所述第二传动杆(155)的另一端套设有一蜗杆(156)，所述蜗杆(156)和所述传动齿轮(157)相接，所述蜗杆(156)和所述传动齿轮(157)的多个齿轮牙(1571)相接合；其中，

所述第二传动杆(155)的转动能带动所述第一波纹管(141)及所述第二波纹管(142)的形变，进一步带动所述样品部(13)转动。

2.如权利要求1所述的具有超高真空度的样品调整控制器，其特征在于，所述样品座(131)中进一步有一容置空间(130)，且所述容置空间(130)和所述第一波纹管(141)及所述第二波纹管(142)连通。

3.如权利要求1所述的具有超高真空度的样品调整控制器，其特征在于，所述第二波纹管(142)和所述样品座(131)连接处具有突出的一刀刃结构(1421)。

4.如权利要求3所述的具有超高真空度的样品调整控制器，其特征在于，所述样品座(131)和所述第二波纹管(142)相接处有一对应的刀刃接口(1311)，当所述第二波纹管(142)和所述样品座(131)相接时，所述刀刃结构(1421)容置于所述刀刃接口(1311)中。

5.如权利要求1所述的具有超高真空度的样品调整控制器，其特征在于，所述第二波纹管(142)和所述样品座(131)是以螺纹结构互相接合。

6.如权利要求1所述的具有超高真空度的样品调整控制器，其特征在于，所述样品座(131)是一体成形。

7.如权利要求1所述的具有超高真空度的样品调整控制器，其特征在于，所述样品载台(132)的冷却温度达零下一百七十摄氏度。

8.如权利要求1所述的具有超高真空度的样品调整控制器，其特征在于，所述样品载台(132)的加热温度达八百摄氏度以上。