[发明专利]一种蓝宝石激光挖槽装置及其挖槽方法

说明书

技术领域

本发明涉及激光加工技术领域，更具体的说，特别涉及一种蓝宝石激光挖槽装置及其挖槽方法。

背景技术

蓝宝石具有耐划伤，擦伤，耐腐蚀的特点，与其它玻璃相比的优点早已被很多人了解但是由于材料本身的价格以及其加工上的难度，使得它一直以来难以被广泛使用，目前蓝宝石的材料成本以及逐步下降，并且激光微加工领域的技术也有了飞快的发展，对蓝宝石的切割，打孔，挖槽等具有很大的市场应用前景。目前，主要通过金刚石涂层线(diamond coated wire)加工蓝宝石，由于金刚石成本较高，并且这样的加工方式是接触式加工，金刚石涂层线使用到一定程度后容易损坏，造成蓝宝石加工成本增大。用金刚石涂层线加工蓝宝石还有一个显著的缺点是加工效率低，加工效果差，容易造成加工不良。

发明内容

本发明的目的在于针对现有技术存在的技术问题，提供一种蓝宝石激光挖槽装置及其挖槽方法，可以解决填充扫描方式所带来的跳转问题以及连接处加工不良的问题。

为了解决以上提出的问题，本发明采用的技术方案为：

一种蓝宝石激光挖槽装置，该挖槽装置包括激光器、反射镜、扩束镜、振镜、聚焦镜、平台和计算机，将待加工蓝宝石样品设置于平台上，反射镜、扩束镜、振镜和聚焦镜由上至下依次设置在待加工蓝宝石样品的上方，反射镜、扩束镜、振镜、聚焦镜和待加工蓝宝石样品的中心位于同一直线上，激光器位于反射镜的一侧，计算机与振镜相连。

所述激光器的激光波长范围是355nm～1064nm，包含紫外、绿光和红外激光器。

所述激光器发出激光的偏振态为线偏振，偏振比大于100:1。

所述激光器的脉冲宽度范围是10飞秒～500皮秒，单点能量的范围是1uJ～10mJ。

一种蓝宝石激光挖槽装置的挖槽方法，所述计算机包括建型模块、计算模块、测试模块、生成模块和扫描模块；

该挖槽方法步骤如下：

步骤S1：根据待加工蓝宝石样品上挖槽的形状和大小，通过建型模块建立挖槽的模型；

步骤S2：通过计算模块计算加工挖槽所需要的层数n，其中D为挖槽的总深度，d为每层加工的厚度，具体公式如下：

n＝D/d；

步骤S3：通过测试模块测试出激光去除每层蓝宝石效率，即得到加工每层蓝宝石挖槽所需的时间t，则能得到加工蓝宝石挖槽所需的总时间T，具体公式如下：

T＝n*t；

步骤S4：根据步骤二得到的层数n对挖槽模型进行分层，生成模块通过矢量线来模拟扫描轨迹，通过扫描模块将模拟得到的每层扫描轨迹通过图形处理生成一条螺旋线；

步骤S5：根据加工蓝宝石挖槽所需的总时间T，打开挖槽装置中的激光器，激光光束根据步骤四生成的螺旋线，并按照每层的扫描轨迹，从蓝宝石表面逐层向内部扫描得到所述挖槽。

所述蓝宝石挖槽的总深度D范围是50～1000um，每层加工的厚度d范围是5～50um。

所述待加工蓝宝石样品的厚度范围是100～2000um。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：

1、本发明的挖槽装置采用激光器发射激光光束，并经过反射镜、扩束镜、振镜和聚焦镜后聚焦在待加工蓝宝石样品上进行激光加工，整个装置结构简单，且加工速度快、效率高。

2、本发明在激光扫描的轨迹上使用连续的线扫描方式，以解决填充扫描方式所带来的跳转问题以及连接处加工不良的问题，挖槽的断面形貌的生成机理是将挖槽模型分切成若干层，通过矢量线来模拟扫描轨迹，每层的扫描范围可以渐变，并且将每层的扫描轨迹通过图形处理生成一条连续的螺旋线，此外，所需切分的层数可以根据挖槽的厚度以及激光加工每层的厚度得到，这种扫描方式具有效率高，加工效果均匀，崩边量小，扫描图形处理方便的特点。

附图说明

图1为本发明的蓝宝石激光挖槽装置示意图。

图2为本发明的蓝宝石挖槽上每层扫描方式示意图。

图3为本发明的蓝宝石挖槽横截面示意图

图4为本发明的蓝宝石激光挖槽方法的流程图。

附图标记说明：1-激光器、2-反射镜、3-扩束镜、4-振镜、5-聚焦镜、6-待加工蓝宝石样品、7-平台、8-计算机、61-激光扫描区域、62-激光开始扫描位置、63-激光结束扫描位置

具体实施方式