[发明专利]基于MEMS微镜折叠式的扫描光学系统

权利要求书

1.基于MEMS微镜折叠式的扫描光学系统，其特征在于，它包括聚焦透镜组(1)、MEMS微镜(2)、f-θ透镜组(3)和扩角透镜组(4)；

入射光经聚焦透镜组(1)透射后，再经MEMS微镜(2)反射后，入射至f-θ透镜组(3)，经f-θ透镜组(3)透射后，入射至扩角透镜组(4)，经扩角透镜组(4)扩角后的透射光与系统光轴的夹角为θ₂，且f₂小于f₁；

其中，θ₁为经MEMS微镜(2)反射的光与系统光轴的夹角，f₂表示扩角透镜组的有效像方焦距，f₁表示f-θ透镜组(3)的焦距；

所述的MEMS微镜(2)的机械偏转角为[-4°,+4°]，夹角θ₁的范围是[-8°,+8°]。

2.根据权利要求1所述的基于MEMS微镜折叠式的扫描光学系统，其特征在于，所述的聚焦透镜组(1)为两片式前置正透镜组，两片式前置正透镜组包括共轴的1号凸透镜(1-1)和1号凹透镜(1-2)，且该1号凸透镜(1-1)的入射面为两片式前置正透镜组的入射面，所述的1号凸透镜(1-1)和1号凹透镜(1-2)的材料不同，且均适用1550nm波长的激光。

3.根据权利要求2所述的基于MEMS微镜折叠式的扫描光学系统，其特征在于，所述的f-θ透镜组(3)为三片式f-θ透镜，所述的三片式f-θ透镜包括共轴的三块透镜，所述的共轴的三块透镜依次为2号凹透镜(3-1)、2号凸透镜(3-2)、3号凸透镜(3-3)，且2号凹透镜(3-1)的入射面为f-θ透镜组(3)的入射面。

4.根据权利要求3所述的基于MEMS微镜折叠式的扫描光学系统，其特征在于，所述的扩角透镜组(4)为七片式广角透镜组，所述的七片式广角透镜组包括四片式正透镜组(4-1)、光阑(4-2)和三片式望远镜(4-3)，且光阑(4-2)位于四片式正透镜组(4-1)和三片式望远镜(4-3)之间，四片式正透镜组(4-1)的入射面为七片式广角透镜组的入射面。

5.根据权利要求4所述的基于MEMS微镜折叠式的扫描光学系统，其特征在于，所述的聚焦透镜组(1)为焦距150mm正胶合透镜、焦距100mm正胶合透镜或焦距200mm正胶合透镜。

6.根据权利要求2所述的基于MEMS微镜折叠式的扫描光学系统，其特征在于，所述的1号凸透镜(1-1)为熔融石英玻璃材料F_SILICA，折射率为1.458464；1号凹透镜(1-2)为SF18玻璃,折射率为1.72151。