[发明专利]一种质谱计线性段测试方法

权利要求书

1.一种质谱计线性段测试方法，其特征在于，采用测试装置进行测试，所述测试装置包括气体微流量计(1)、真空阀门a(2)、真空阀门b(3)、真空标准漏孔(4)、恒温箱(5)、质谱计(6)、真空校准室(7)、真空阀门c(8)和抽气系统(9)；其中，真空标准漏孔(4)放置于恒温箱(5)中，真空校准室(7)一侧与一个三通连接，三通的其他两端分别经真空阀门b(3)与真空标准漏孔(4)连接、经真空阀门a(2)与气体微流量计(1)连接，气体微流量计(1)和真空标准漏孔(4)与三通之间的连接管路相对于质谱计(6)对称；质谱计(6)与真空校准室(7)连接，抽气系统(9)经真空阀门c(8)与真空校准室(7)连接；所有真空阀门初始状态为关闭状态；

测试方法如下：

步骤1，将真空标准漏孔(4)置于恒温箱(5)中，恒温24小时以上；

步骤2，启动抽气系统(9)，打开真空阀门c(8)，对真空校准室(7)进行抽气，当真空校准室(7)达到质谱计(6)正常工作的真空度后，启动质谱计(6)；

步骤3，当真空校准室(7)达到本底压力后，通过质谱计(6)测量此时对应的本底离子流I₀；

步骤4，打开真空阀门b(3)，真空标准漏孔(4)中的气体以漏率Q_SL经真空阀门b(3)流至真空校准室(7)中，当真空校准室(7)中的压力稳定后，通过质谱计(6)测量真空标准漏孔(4)漏率Q_SL对应的气体离子流I_SL；

步骤5，关闭真空阀门b(3)；

步骤6，当真空校准室(7)达到本底压力后，打开真空阀门a(2)，气体微流量计(1)中的气体以设定的标准流量Q_FM经真空阀门a(2)流至真空校准室(7)中，当真空校准室(7)中的压力稳定后，通过质谱计(6)测量气体微流量计(1)提供的标准流量Q_FM对应的离子流I_FM；

步骤7，根据Q_FM、I_FM、Q_SL、I_SL、I₀计算质谱计偏离线性的偏差D

D=QFMIFM-I0-QSLISL-I0]]>

当D的绝对值处于设定的偏差范围内，认为Q_FM和Q_SL处于质谱计的线性段范围内；

步骤8，改变真空标准漏孔漏率或气体微流量计标准流量，重复步骤3～步骤7，确定质谱计的线性段。