[发明专利]在扩散炉内设置碳化硅长托防止石英管变形的方法无效
| 申请号： | 201410466031.6 | 申请日： | 2014-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN104233472A | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 商亚峰;滕跃;陶巍;郭庆;关凯月 | 申请（专利权）人： | 吉林华微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/06 | 分类号： | C30B31/06 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 陶尊新 |
| 地址： | 132013*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扩散 设置 碳化硅 防止 石英管 变形 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种在扩散炉内设置碳化硅长托防止石英管变形的方法，其特征在于，在扩散炉炉膛底部安放碳化硅长托(7)，将石英管(1)贯穿炉体(2)放置，石英管(1)底部与碳化硅长托(7)顶部接触，用把扣环(3)将石英管(1)两端固定。
2.根据权利要求1所述的在扩散炉内设置碳化硅长托防止石英管变形的方法，其特征在于，碳化硅长托(7)位于扩散炉炉膛恒温区。
3.根据权利要求1所述的在扩散炉内设置碳化硅长托防止石英管变形的方法，其特征在于，所述碳化硅长托(7)采用含95％SiC的黑碳化硅制作；所述碳化硅长托(7)的微观形态为陶瓷。
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