[发明专利]一种低成本钼管靶材的制造方法

权利要求书

1.一种钼管靶材的制造方法，其特征在于，该制造方法以钼粉为原料，依次包括：

装粉步骤，将钼粉装入预先制作好的中空模具中，所述钼粉是平均晶粒尺寸为2～4μm、纯度大于99.95％的Mo-1粉；

冷等静压步骤，将装好钼粉的中空模具放入冷等静压机中进行冷等静压处理，卸压脱模后获得冷等静压管坯，所述冷等静压处理的压力为220～250MPa，保压时间为20～40分钟；

烧结步骤，将所述冷等静压管坯放入烧结炉进行烧结处理，烧结后随炉冷却得到烧结管坯，所述烧结炉的烧结温度控制在1800℃～2200℃，烧结时间控制在6～12h，所述烧结处理时通入氢气，氢气流量控制在3～5m³/h；和

热等静压步骤，将所述烧结管坯放入热等静压机中进行热等静压处理，所述热等静压机的热等静压温度控制在1400～1600℃，热等静压压力控制在170～200MPa，热等静压保温时间为2～4h，所述热等静压步骤在惰性气体保护气氛下进行；

在所述冷等静压步骤和所述烧结步骤之间存在对脱模后的冷等静压管坯进行整形的步骤。

2.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，

在所述热等静压步骤后还包括机械加工步骤，

在所述机械加工步骤中对热等静压处理过的管坯进行机械加工以得到目标尺寸的成品管。

3.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，

在所述冷等静压步骤中，所述冷等静压的压力为230～250MPa，保压时间为20～30分钟。

4.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，

在所述烧结步骤中，所述烧结炉的烧结温度控制在1900℃～2100℃，烧结时间控制在8～12h。

5.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，

在所述烧结步骤中，所述氢气的流量控制在4～5m³/h。

6.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述热等静压温度控制在1400～1450℃。

7.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，

所述热等静压步骤在氩气保护气氛下进行。