[发明专利]一种调整晶体硅长晶固液界面的方法

权利要求书

1.一种调整晶体硅长晶固液界面的方法，其特征在于，通过改变坩埚的尺寸或改变铸锭炉中侧隔热笼底部侧面的保温条的形状、尺寸和铸锭工艺来实现。

2.如权利要求1所述的一种调整晶体硅长晶固液界面的方法，其特征为：具体为改变坩埚的尺寸：所采用坩埚材质为石英或氮化硅，坩埚呈方形，包含四个边墙和一个底面，坩埚的四个边墙的厚度设置不一致。

3.如权利要求1所述的一种调整晶体硅长晶固液界面的方法，其特征为：具体为改变铸锭炉中侧隔热笼底部侧面的保温条的形状、尺寸和铸锭工艺：铸锭炉包括上炉体(1)、隔热板(2)、侧隔热笼(3)、加热器（4）、石墨护板（5）、热交换块（6）、下炉体(7)、保温条（8）、底隔热板（9）、保温装置（10）、陶瓷坩埚（11）、提升连杆(12)、电极（13）；上炉体(1)和下炉体(7)连接形成整个炉体，炉体内设有陶瓷坩埚（10），坩埚盖板（11）放置在陶瓷坩埚（10）上，陶瓷坩埚（10）外侧设有石墨护板（5），陶瓷坩埚（10）下方设有热交换块（6），加热器（4）通过电极（13）与上炉体(1)连接，侧隔热笼(3) 通过提升连杆(12) 与上炉体(1)连接，侧隔热笼(3)顶部设有隔热板(2)，侧隔热笼(3)底部侧面设有保温条（8），侧隔热笼(3)底部设有底隔热板（9）。

4.如权利要求3所述的一种调整晶体硅长晶固液界面的方法，其特征为：安装在隔热笼底部侧面的保温条高度差异范围为0-50mm，宽度差异范围为0-15mm。

5.如权利要求3所述的一种调整晶体硅长晶固液界面的方法，其特征为：保温条的高度范围为10-140mm，宽度范围为10-70mm。

6.如权利要求3所述的一种调整晶体硅长晶固液界面的方法，其特征为：保温条的高度范围为100-140mm，铸锭时铸锭长晶工艺温度升高1-12℃。