[发明专利]等离子体源离子束混合注入对金属表面改性的方法有效
| 申请号： | 201410472657.8 | 申请日： | 2014-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN104195521B | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 曹炜 | 申请（专利权）人： | 曹炜 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 潘登 |
| 地址： | 226432 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 离子束 混合 注入 金属表面 改性 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种等离子体源离子束混合注入对金属表面改性的方法，包括如下步骤：
1)先将经表面淬火处理的试样进行氮离子的预注入；氮离子预注入时的电压为3.5-5.0kV，脉宽为2-4μs，频率为80-95Hz；
2)在气压为20-25Pa的氩气中进行钛溅射，溅射的速率为3-5nm/min；
3)使用等离子体源离子注入进行氮离子注入；氮离子注入时的电压为3.5-5.0kV，脉宽为2-4μs，频率为80-95Hz；
4)重复步骤1)-3)3-5次。
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