[发明专利]一种蒸镀装置以及蒸镀方法

说明书

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置以及蒸镀方法。

背景技术

有机电致发光器件(Organic Light Emitting Diode，简称OLED)具有响应速度快、色彩绚丽、温度特性好、宽视角、低功耗、适用于挠曲性面板等诸多优点，已经成为新一代平面显示装置的重点发展方向之一，受到了日益广泛的关注。

所述OLED显示器件的基本结构主要包括阳极和阴极，以及二者之间的有机材料功能层；其中，所述有机材料功能层为所述OLED显示器件的核心部分，其制作方法包括喷墨打印、旋涂和蒸镀等。受限于现有的设备和工艺，通过喷墨打印法或者旋涂法制作所述有机材料功能层无法应用于量产，目前能够实现量产的方法仅有蒸镀法。

现有的蒸镀装置的结构如图1所示，主要包括蒸发源10和喷射系统20；其中，所述蒸发源10用于提供有机蒸汽，所述喷射系统20用于将所述有机蒸汽喷射到基板70表面以形成有机膜层。但是，采用蒸镀法制作所述有机材料功能层时，所述蒸发源10产生的有机蒸汽弥散整个腔体，这样便会导致材料的利用率较低；与此同时，所述有机蒸汽的自由扩散还会造成对腔体的严重污染，需要频繁的清洗挡板，由此便会导致成本的增加。

发明内容

本发明的实施例提供一种蒸镀装置以及蒸镀方法，可控制有机蒸汽的流向，从而提高有机材料的利用率，同时还能防止有机材料四处扩散引起的腔室污染，从而减少挡板的清洗次数，节约成本。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

一方面，提供一种蒸镀装置，包括蒸发源、加电系统和电磁控制系统；所述蒸发源用于提供有机蒸汽；所述加电系统用于使所述有机蒸汽带电；所述电磁控制系统用于控制带电的所述有机蒸汽的速率和流向，并选择进入预定区域并向预定方向运动的所述有机蒸汽沉积至基板表面。

优选的，所述电磁控制系统包括靠近所述加电系统一侧的电场区域和远离所述加电系统一侧的磁场区域；在所述电场区域存在电场方向为第一方向的电场，以使所述有机蒸汽进行加速；在所述磁场区域存在磁场方向为第二方向的磁场，以使所述有机蒸汽向第三方向偏转；其中，所述第一方向为所述蒸发源的蒸发方向或所述蒸发方向的反方向，所述第二方向与所述第一方向相互垂直，所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向均垂直。

进一步优选的，所述电磁控制系统还包括对应于所述磁场区域的筛选孔；其中，进入所述磁场区域的所述有机蒸汽向所述筛选孔所在的一侧偏转。

可选的，所述蒸镀装置还包括位于所述筛选孔两侧的回收系统。

可选的，所述蒸镀装置还包括用于驱动和控制所述基板与所述筛选孔之间的相对运动的驱动系统。

可选的，所述蒸发源为线性蒸发源；其中，所述线性蒸发源包括蒸发容器和线性加热源。

进一步可选的，所述蒸镀装置还包括位于所述线性蒸发源的出口位置处或者位于所述筛选孔的出口位置处的晶振器。

可选的，所述蒸镀装置还包括位于所述蒸发源和所述加电系统之间的喷射系统；其中，所述喷射系统包括多个相同的喷嘴。

另一方面，提供一种基于上述的蒸镀装置的蒸镀方法，所述方法包括：加热蒸发源以产生有机蒸汽；通过加电系统使所述有机蒸汽带电；通过电磁控制系统控制带电的所述有机蒸汽的速率和流向，以使进入预定区域并向预定方向运动的所述有机蒸汽沉积至基板表面。

优选的，所述通过电磁控制系统控制带电的所述有机蒸汽的速率和流向，以使进入预定区域并向预定方向运动的所述有机蒸汽沉积至基板表面具体包括：带电的所述有机蒸汽经过电场方向为第一方向的电场进行加速；加速后的所述有机蒸汽经过磁场方向为第二方向的磁场向第三方向发生偏转；偏转后到达筛选孔的所述有机蒸汽从所述筛选孔飞出，并沉积至基板表面；其中，所述第一方向为所述蒸发源的蒸发方向或所述蒸发方向的反方向，所述第二方向与所述第一方向相互垂直，所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向均垂直。

本发明的实施例提供一种蒸镀装置以及蒸镀方法，所述蒸镀装置包括蒸发源、加电系统和电磁控制系统；所述蒸发源用于提供有机蒸汽；所述加电系统用于使所述有机蒸汽带电；所述电磁控制系统用于控制带电的所述有机蒸汽的速率和流向，并选择进入预定区域并向预定方向运动的所述有机蒸汽沉积至基板表面。