[发明专利]用于处理工艺废气的洗涤器

权利要求书

1.一种用于处理工艺废气的洗涤器，其特征在于，包括：

等离子体处理单元，使等离子体接触工艺废气而分解所述工艺废气；

冷却单元，冷却被所述等离子体处理单元分解后流入的所述工艺废气，以捕集反应副产物；以及

反应单元，使从所述冷却单元流出的工艺废气接触胺系物质，通过酸碱反应去除所述工艺废气中含有的水溶性气体。

2.根据权利要求1所述的用于处理工艺废气的洗涤器，其特征在于，所述等离子体处理单元包括：

等离子体焰炬，用于产生等离子体；

注入腔室，使从外部流入的工艺废气接触所述等离子体；以及

反应腔室，使所述等离子体接触工艺废气并进行反应，以分解所述工艺废气。

3.根据权利要求1所述的用于处理工艺废气的洗涤器，其特征在于，所述冷却单元包括：

冷却外壳，使从等离子体处理单元流出的所述工艺气体流入；

第一冷却板，对流入的所述工艺废气进行一次冷却，以捕集工艺废气的反应副产物；以及

第二冷却板，对通过所述第一冷却板的所述工艺废气进行二次冷却，以捕集所述工艺废气的反应副产物。

4.根据权利要求3所述的用于处理工艺废气的洗涤器，其特征在于，所述冷却外壳包括：

外壳主体，所述外壳主体的内部为中空，具有一侧壁、另一侧壁、前侧壁、后侧壁、主体上板及主体下板，包括分别在所述主体上板的一侧和另一侧形成的废气流入口和废气流出口；

第一隔壁，形成于在所述外壳主体的内部以所述废气流入口为中心，在所述一侧壁的相反侧的位置，并在与所述后侧壁之间形成第一隔壁孔；以及

第二隔壁，位于所述外壳主体的另一侧壁和所述第一隔壁之间，形成于以所述废气流出口为中心，在所述另一侧壁的相反侧的位置，并包括在前侧端的下边缘形成的第二隔壁孔。

5.根据权利要求4所述的用于处理工艺废气的洗涤器，其特征在于，

所述第一冷却板为内部中空的板状，包括：从一侧面向另一侧面贯通并使所述工艺废气流动的气体贯通管、使冷却水流入到内部的第一冷却水流入口、以及使流入的冷却水向外部流出的第一冷却水流出口；

多个所述第一冷却板相互隔开，位于所述第一隔壁和第二隔壁之间，垂直于所述第一隔壁和第二隔壁，且平行于所述前侧壁。

6.根据权利要求4所述的用于处理工艺废气的洗涤器，其特征在于，

所述第二冷却板包括格栅网及冷却管，所述冷却管接触所述格栅网并形成曲折形状，用于从外部供给冷却水并使其流出；

多个所述第二冷却板在所述第二隔壁和所述外壳主体的另一侧壁之间构成水平，并在垂直方向上相互隔开；

所述第二冷却板被设置为在与所述第二隔壁或所述另一侧壁之间交替形成第二冷却孔。

7.根据权利要求1所述的用于处理工艺废气的洗涤器，其特征在于，还包括：

捕集单元，位于所述冷却单元和所述反应单元之间，使从所述冷却单元流出的工艺废气流入，并冷却流入的所述工艺废气，以捕集反应副产物。

8.根据权利要求7所述的用于处理工艺废气的洗涤器，其特征在于，所述捕集单元包括：

捕集外壳，所述捕集外壳的内部为中空，具有使所述工艺废气从所述冷却单元流入的捕集流入口，以及使所述工艺废气流出的捕集流出口；以及

捕集板，包括第一捕集板和第二捕集板，所述第一捕集板和第二捕集板交替层叠，在垂直方向上相互隔开；其中，所述第一捕集板为板状，所述第一捕集板的外周面与所述捕集外壳的内周面相邻，并在所述第一捕集板的中央部分形成有第一捕集孔，所述第二捕集板为板状，所述第二捕集板的外周面与所述捕集外壳隔开而形成第二捕集孔。

9.根据权利要求1所述的用于处理工艺废气的洗涤器，其特征在于，所述反应单元包括：

反应外壳，所述反应外壳的内部为中空，包括使所述工艺废气流入的反应流入口，以及使所述工艺废气向外部流出的反应流出口；

支撑板，所述支撑板为板状，具有从上面向下面贯通的多个支撑孔，在所述反应外壳内部在垂直方向上隔开地形成；以及

胺系物质层，在所述支撑板的上面层积所述胺系物质的粉末或块而形成；

其中，所述胺系物质通过与工艺废气的酸碱反应去除水溶性气体。