[发明专利]一种具有复合势垒层的氮化镓基异质结场效应管有效
| 申请号： | 201410476301.1 | 申请日： | 2014-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN104201202B | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 杜江锋;潘沛霖;陈南庭;刘东;于奇 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/778 | 分类号： | H01L29/778;H01L29/06;H01L29/10 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙)51227 | 代理人： | 李玉兴 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 复合 势垒层 氮化 镓基异质结 场效应 | ||
1.一种具有复合势垒层的氮化镓基异质结场效应管，包括衬底(101)、设置在衬底(101)上层的氮化镓缓冲层(102)、设置在氮化镓缓冲层(102)上层的氮化镓沟道层(103)、源极(105)、漏极(106)和栅极(107)；其特征在于，在氮化镓沟道层(103)上层设置有复合势垒层，所述源极(105)和漏极(106)位于复合势垒层上表面的两端并与复合势垒层形成欧姆接触，所述栅极(107)位于复合势垒层上表面的中部并与复合势垒层形成肖特基接触；所述复合势垒层由高极化强度势垒层(201)和低极化强度势垒层(202)构成，所述低极化强度势垒层(202)的两端连接高极化强度势垒层(201)。
2.根据权利要求1所述的一种具有复合势垒层的氮化镓基异质结场效应管，其特征在于，所述低极化强度势垒层(202)位于漏极(106)和栅极(107)之间；设低极化强度势垒层(202)沿器件横向方向的宽度为LLP，则有0＜LLP＜LGD；设低极化强度势垒层(202)距栅极(107)的横向距离为LGLP，则有0≤LGLP＜(LGD-LLP)，其中LGD为栅漏距。
3.根据权利要求1所述的一种具有复合势垒层的氮化镓基异质结场效应管，其特征在于，所述低极化强度势垒层(202)位于栅极(107)正下方，同时低极化强度势垒层(202)左边沿与栅极(107)靠近源极(105)一侧的边沿对齐；设低极化强度势垒层(202)沿器件横向方向的宽度为LLP，则有0＜LLP＜LG，其中LG为栅长。
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