[发明专利]一种陶瓷金属化基板的制造方法和由该方法制造的陶瓷金属化基板有效

专利信息
申请号: 201410477530.5 申请日: 2014-09-18
公开(公告)号: CN105491795B 公开(公告)日: 2018-07-03
发明(设计)人: 朱荣欣;钱建波 申请(专利权)人: 浙江德汇电子陶瓷有限公司
主分类号: H05K3/00 分类号: H05K3/00;H05K1/00
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 代理人: 吴开磊
地址: 314006 浙江省嘉兴市南湖*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 陶瓷基板 陶瓷金属化基板 图案印刷 电路图案 图案设计 电导通 通孔 铜层 高温烧结步骤 制造 电镀铜层 激光打孔 烧结 薄膜法 电绝缘 厚膜法 丝网板 整板 生产成本 串联 图案 印刷 生产
【权利要求书】:

1.一种增加陶瓷基板铜层厚度的方法,该方法包括以下步骤:

(1)在陶瓷基板上进行激光打孔,以在所述陶瓷基板上形成上下通孔;

(2)在步骤(1)形成有上下通孔的陶瓷基板上进行通孔印刷和图案印刷,以在所述陶瓷基板上形成一定厚度的电路图案,所述图案印刷包括图案设计和制造图案印刷用丝网板,其中,所述图案设计的过程包括用两条直线将各独立的图案分别串联,以使互相电绝缘的电路图案形成整板电导通;

(3)高温烧结步骤(2)中形成电导通的陶瓷基板;

(4)对步骤(3)经烧结后的陶瓷基板进行电镀铜层;

采用第一铜浆进行通孔印刷,第一铜浆的粘度控制在100-180mPa·s,采用第二铜浆进行图案印刷,第二铜浆的粘度控制在150-200mPa·s;

所述高温烧结包括依次进行的第一阶段和第二阶段,第一阶段的温度为350-450℃,时间为0.5-2小时;第二阶段的温度为850-950℃,时间为2-4小时。

2.根据权利要求1所述的方法,其中,所述上下通孔中,上孔径为125-140μm,下孔径为90-100μm。

3.根据权利要求1所述的方法,其中,所述陶瓷基板为氧化铝陶瓷基板或氮化铝陶瓷基板。

4.根据权利要求1所述的方法,其中,步骤(3)中,所述第一阶段的温度为390-410℃,时间为1-1.5小时;所述第二阶段的温度为860-880℃,时间为2.5-3小时;所述高温烧结在真空度为1×10-5-1×10-4Pa下进行。

5.根据权利要求4所述的方法,其中,所述高温烧结的条件使得电路图案的厚度为6-12μm。

6.根据权利要求1所述的方法,其中,步骤(4)中,所述电镀铜层的条件使得铜层的厚度为20-100μm。

7.根据权利要求1所述的方法,其中,对步骤(3)经烧结后的陶瓷基板进行电镀铜层后,所述方法还包括:(5)在形成有铜层的陶瓷基板的表面进行镀覆镍钯金或镍金镀层。

8.一种权利要求1-7中任意一项所述方法制造的陶瓷金属化基板。

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