[发明专利]咪唑基硫脲衍生物、缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种咪唑基硫脲衍生物，所述咪唑基硫脲衍生物的化学结构式为：

其中，R为含有6-20个碳原子的烷基、苯基或者烯基；n为0、1、2、3、4或5。

2.一种缓蚀剂，包括以下重量百分比的成分：权利要求1所述的咪唑基硫脲衍生物20-40％、助剂2-5％、余量为溶剂。

3.根据权利要求2所述的缓蚀剂，其特征在于，所述助剂为六次甲基四胺。

4.根据权利要求3所述的缓蚀剂，其特征在于，所述溶剂为小分子醇。

5.根据权利要求4所述的缓蚀剂，其特征在于，所述小分子醇选自乙醇、丙醇、异丙醇、丁醇、异丁醇中的至少一种。

6.一种权利要求1所述的咪唑基硫脲衍生物的制备方法，包括：在反应器中加入硫脲和有机胺，使所述硫脲和所述有机胺在150-170℃的温度下反应1.5-3.5h，同时使用稀盐酸或者水来吸收反应过程中产生的尾气；然后向所述反应器中再加入有机酸，继续在150-170℃的温度下反应1.5-3.5h，收集所述反应器中的产物，得到咪唑基硫脲衍生物；

其中，反应器中所加入的硫脲、有机胺和有机酸的物质的量相同。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述有机胺的化学式为NH₂(CH₂CH₂NH)_n+1CH₂CH₂NH₂，其中，n为0、1、2、3、4或5。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述有机酸的化学式为R-COOH，其中R为含有6-20个碳原子的烷基、苯基或者烯基。

9.一种权利要求2所述的缓蚀剂的制备方法，包括：按照缓蚀剂中各成分的配比，将咪唑基硫脲衍生物、助剂与溶剂混合，在45-65℃下搅拌均匀，得到缓蚀剂。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述助剂为六次甲基四胺；所述溶剂选自乙醇、丙醇、异丙醇、丁醇、异丁醇中的至少一种。