[发明专利]一种水平超长精密装备微振动控制系统

权利要求书

1.一种水平超长精密装备微振动控制系统，包括水平超长精密装备容器、主体结构支撑、垫板结构、内置工艺支撑平台、隔振装置和隔振装置支撑，其特征在于：所述水平超长精密装备微振动控制系统还包括真空波纹管密封连接构件、隔振平台和高刚性台座，所述水平超长精密装备容器为真空密闭装备，通过所述垫板结构设置在主体结构支撑上，所述水平超长精密装备容器内部设置有所述内置工艺支撑平台，所述真空波纹管密封连接构件支撑所述内置工艺支撑平台并设置在所述隔振平台上，所述隔振平台的两端设置在所述隔振装置上面，所述隔振装置的底部设置在所述隔振装置支撑上，所述隔振平台的中间设置有所述高刚性台座。

2.根据权利要求1所述的一种水平超长精密装备微振动控制系统，其特征在于：所述水平超长精密装备容器可以是水平卧式真空罐，所述水平卧式真空罐优选钢制压力容器罐，所述水平卧式真空罐的管壁上可以设置有真空泵。

3.根据权利要求1所述的一种水平超长精密装备微振动控制系统，其特征在于：所述真空波纹管密封连接构件为柔性可伸缩的真空密封连接构件，贯穿所述水平超长精密装备容器的内外，并使所述水平超长精密装备容器无泄漏。

4.根据权利要求1或3中所述的一种水平超长精密装备微振动控制系统，其特征在于：所述真空波纹管密封连接构件横向设置优选为三个并彼此间隔分布，纵向可以根据所述水平超长精密装备容器的纵向长度设置多个并彼此间隔分布。

5.根据权利要求1所述的一种水平超长精密装备微振动控制系统，其特征在于：所述隔振装置可以采用机械弹簧或空气弹簧，所述空气弹簧可以为囊式或膜式，优选膜式空气弹簧，所述空气弹簧内部可以设置有钢制附加气室，外部可以附加水平阻尼器。

6.根据权利要求1或5中所述的一种水平超长精密装备微振动控制系统，其特征在于：所述隔振装置纵向可以根据所述水平超长精密装备容器的纵向长度设置多个并彼此间隔分布。

7.根据权利要求1所述的一种水平超长精密装备微振动控制系统，其特征在于：所述主体结构支撑可以选择钢筋混凝土结构柱、钢管混凝土柱或剪力墙。

8.根据权利要求1所述的一种水平超长精密装备微振动控制系统，其特征在于：所述高刚性台座主要构成为型钢混凝土结构，含钢量大于30％。

9.根据权利要求1所述的一种水平超长精密装备微振动控制系统，其特征在于：所述内置工艺支撑平台上可以设置有支撑柱、支撑框架或钢制或混凝土制平台。