[发明专利]具有氧化钇覆层的部件的清洗液及清洗方法

权利要求书

1.一种用于清洗具有氧化钇覆层的部件的清洗液，其含有质量浓度小于等于10％且大于0％的硝酸溶液和质量浓度小于5％的氢氟酸溶液。

2.根据权利要求1的清洗液，其中，硝酸溶液的浓度低于等于8％(wt)且大于0％。

3.根据权利要求1所述的清洗液，其中，硝酸溶液的浓度低于等于5％(wt)且大于等于0％。

4.权利要求1-3任一项所述的清洗液在清洗具有氧化钇覆层的部件方面的用途。

5.一种用权利要求1-3任一项所述的清洗液清洗具有氧化钇覆层的部件的方法，其特征在于，用所述的清洗液清洗具有氧化钇覆层的部件。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，在用所述的清洗液清洗前对氧化钇覆层进行表面喷砂处理。

7.根据权利要求5或6所述的方法，还包括在用清洗液清洗后对氧化钇覆层进行表面喷砂处理。

8.根据权利要求6或7所述的方法，其中，喷砂压力为2-6kg。

9.根据权利要求6或7所述的方法，其中喷砂压力为3kg，砂材型号为GB(或WA)200-800。