[发明专利]适用于高基频MESA晶片测试的装置及测试方法有效
| 申请号： | 201410481612.7 | 申请日： | 2014-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN104267256B | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | 李坡 | 申请（专利权）人： | 南京中电熊猫晶体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R23/02 | 分类号： | G01R23/02 |
| 代理公司： | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人： | 沈根水 |
| 地址： | 210028 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 适用于 基频 mesa 晶片 测试 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
1.适用于高基频MESA晶片的测试装置，其特征是包括A、B二个金属电极，即测试电极，其中B金属电极接触并支撑水晶片的待测试MESA区域，而A金属电极与水晶片的MESA区域之间存有一个5~10μm的悬浮缝隙，在A、B两个金属电极之间串接一个电场、CNA300型网络分析仪。
2.如权利要求1的适用于高基频MESA晶片测试的方法，其特征是在进行水晶片测试的过程中，两个金属测试电极中至少有一个不接触水晶片表面，而是通过悬浮感应的方式测试水晶片的频率，具体在进行MESA水晶片的测试时，
1）用两个金属电极即A金属电极、B金属电极进行测试；
2）其中B金属电极接触并支撑水晶片的待测试MESA区域，而A金属电极与水晶片的MESA区域之间存有一个5~10μm的悬浮缝隙；
3）在A金属电极、B金属电极的两个金属电极之间通过网络分析仪施加一个可变电场，电场的施加引起水晶片的逆压电效应，使得水晶片振动；当可变电场的交变频率刚好达到水晶片的谐振频率时，电场对于CNA300型网络分析仪的反馈信号强度达到最大，以此测得水晶片的真实频率；
4）在这个测试过程中，两个金属测试电极不会同时接触水晶片的MESA区域，因此也就避免了物理接触对脆弱的水晶片造成的损害。
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