[发明专利]过滤器单元

说明书

本申请是国际申请日为2011年6月10日、国际申请号为PCT/JP2011/063415、国家申请号为201180030159.2、发明名称为“隔离装置”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及隔离装置，更详细地说，涉及能够用于使内部保持无菌状态的作业、也能够用于在内部处理对人体有影响的物质的作业的、安全性高的隔离装置。

背景技术

在洁净的气氛中进行的作业，例如半导体、电子零件的制造阶段的作业，或者医药品的制造阶段的作业中，在以污染物质不从外部环境进入的方式使内部保持无菌/无尘状态的洁净的作业环境中进行作业。当进行相关作业的作业环境规模较小时，利用如下隔离装置：使用与外部环境隔绝的腔室等，作业者能够从该腔室的外部通过手套、半身衣进行作业。将这样的隔离装置特别称为无菌隔离器。

另一方面，在处理对人体有影响的物质的作业，例如医药品的制造阶段的作业，在医学、生物学领域处理毒性较强的微生物的作业，或者处理放射性物质的作业等中，需要保护作业者免受对人体有影响的化学物质、微生物等的污染，另外，需要防止这些对人体有影响的化学物质、微生物等从作业环境泄漏到外部环境。在相关作业中，也利用能够从与外部环境隔绝的腔室的外部通过手套、半身衣进行作业的隔离装置。将这样的隔离装置特别称为封入隔离器。

隔离装置与作业者进行作业的外部环境气密性隔断，另外，通过过滤器净化外部的空气而供给到腔室内，并且通过过滤器净化腔室内的空气并排放到外部。因此，基本上这样的隔离装置既可以作为无菌隔离器使用也可以作为封入隔离器使用。

另外，使用隔离装置时，通过按照目的来调节腔室内的气压，能够更加提高安全性。即，当作为无菌隔离器使用时，使腔室内的气压比外部的气压高(以下称为正压)，即使腔室发生泄漏时，由于空气从腔室侧流向外部，因此浮游菌等也不会从外部侵入到腔室内。

另一方面，当作为封入隔离器使用时，使腔室内的气压比外部的气压低(以下称为负压)而使用，从而即使腔室发生泄漏时，由于空气从外部流向腔室内，因此腔室内的化学物质等也不会污染外部环境。

然而，在隔离装置中设置有能够从外部从观察腔室内的玻璃窗、作业者进行作业的手套、以及用于向腔室内搬入设备或进行维护的开关门等。因此，难以完美地将隔离装置的腔室气密性封闭，还考虑到隔离装置在工作时封闭性被破坏。进一步，即使调节腔室内的气压，因外部的气压的变动等各种原因而总是设定压力差也有界限。

这样，若隔离装置稍微发生泄漏，则在无菌隔离器中无法维持腔室内的无菌/无尘状态，另外，在封入隔离器中在腔室内处理的化学物质、微生物等会泄漏到外部环境。

作为避免隔离装置工作时的这样的危险性的方法，在下述专利文献1中提出了如下的隔离装置的洁净维持装置：在设置于腔室的接合部的内周缘设置相对于腔室内部及外部均为负压的负压空气吸入路径，由负压空气吸入路径吸引通过接合部的内周缘的空气。

另一方面，作为伴随着隔离装置的工作完成后的危险性的作业，存在更换使用后的过滤器的作业。例如，在封入隔离装置中，经由用于净化其内部的空气的过滤器除去空气中的化学物质等，并将净化的空气排放到外部环境。由此，防止在隔离装置等的内部处理的化学物质等泄漏到外部环境。

这些用于净化空气的过滤器使用HEPA过滤器或ULPA过滤器等高性能过滤器，在使用后的过滤器中附着有从空气中除去的大量化学物质等。因此，更换这些使用后的过滤器时，为了作业者的安全和防止泄漏到外部环境而要求谨慎的作业。

在该过滤器更换作业中最广泛采用的方法为袋进袋出(BAG IN-BAG OUT)方式，但是在该现有的方式中，收容过滤器的箱体的结构复杂，过滤器更换作业繁琐。

另外，通过过滤器划分箱体的内部，沿着气流在过滤器的上游侧的面附着化学物质等，而过滤器的下游侧的面未受到污染。在这样的状态下，将使用完的过滤器从箱体内的安装板拆下并收容到袋内，但在至收容到袋内为止的阶段可能会产生附着在过滤器的上游侧的面上的化学物质等污染箱体内的过滤器的下游部的情况。

这样，若箱体内的过滤器的下游部被化学物质等污染，则更换过滤器后使隔离装置工作时，污染箱体内的过滤器的下游部的化学物质等会泄漏到外部环境。

作为避免这样的危险性的方法，在下述专利文献2中提出了按箱体拆下收容使用完的过滤器的箱体而更换收容新过滤器的新箱体的安全的过滤器箱体更换方式。