[发明专利]环形带状可回转激光掩模在线式切割或刻印系统

权利要求书

1.一种环形带状可回转激光掩模在线式切割或刻印系统，包括：

激光部，提供连续的、输出能量可调节的激光水源；

掩模，可高速回转循环转动，提供所需图案和切割或刻印的图案尺寸；

光路组件，将掩模上图案信息切割或刻印至待加工材料；

驱动和传动部，提供动力源并使掩模和待加工材料之间的运动和速度进行匹配，实现同步传动；

其特征在于：所述掩模为环形带状，传动部包括第一掩模端同步带轮、第二掩模端同步带轮、传动轴、第一加工端同步带轮、第二加工端同步带轮、第一加工端同步带、并列设置的第一加工端传动轴、第二加工端传动轴、设置于第一加工端传动轴或第二加工端传动轴上的用于压紧待加工材料的从动轮、连接第一加工端传动轴及第二加工端传动轴的第二加工端同步带；第一掩模端同步带轮、第二掩模端同步带轮水平平行设置，第二掩模端同步带轮与第二加工端同步带轮分别并列设置于传动轴两端，带状掩模卷绕于第一掩模端同步带轮、第二掩模端同步带轮上。

2.根据权利要求1所述的环形带状可回转激光掩模在线式切割或刻印系统，其特征在于：还设置有一个以上的中间掩模传动轮,带状掩模卷绕于第一掩模端同步带轮、第二掩模端同步带轮上并通过中间掩模传动轮张紧。

3.根据权利要求1或2所述的环形带状可回转激光掩模在线式切割或刻印系统，其特征在于：掩模是刚性或柔性的。

4.根据权利要求1或2所述的环形带状可回转激光掩模在线式切割或刻印系统，其特征在于：光路组件包括设置于整形后激光光束的光路上的第一平面反射镜、设置于第一平面反射镜反射光路上的第二平面反射镜、设置于第二平面反射镜反射光路上的第三平面反射镜及设置于第三平面反射镜反射光路上的可调聚焦镜头，可调聚焦镜头聚焦后光束的光路与整形后激光光束的光路垂直。