[发明专利]感光性组合物及图案状透明体

说明书

技术领域

本发明涉及一种感光性组合物、及由所述组合物制造的图案状透明体，所述感光性组合物用以制造液晶显示元件、有机电场发光元件、触摸屏等中所使用的图案状透明体。

背景技术

图案状透明体已被用于间隔件(spacer)、层间绝缘膜、保护膜等液晶显示元件的多个部分、以及触摸屏的绝缘膜中，迄今为止，在所述用途中已提出有多种感光性组合物(例如，参照专利文献1)。特别是近年来，因对高精细显示器或移动用显示器、及搭载于所述显示器的触摸屏的需求不断提高，从而要求可形成直径10μm以下的小的图案、且根据用途而控制图案形状。

在液晶显示元件、有机电场发光显示元件、及触摸屏的生产中，在使用光的平行度差的曝光机(例如，近接式曝光(proximity exposure)机)的情况下，存在与掩模尺寸相比图案尺寸变大(图案变粗)的缺点，因此难以形成小的图案。另外，在高感度的感光性组合物中，所述倾向更为显著，且存在非常难以使高感度与小的图案并存的问题。

以前，在使用光的平行度差的曝光机的情况下，为了形成图案尺寸的大小大致与掩模尺寸相同的图案状透明体，而提出有在聚酰胺酸酯中混合萘醌二叠氮(naphthoquinone diazide)化合物及光聚合引发剂而成的负型感光性树脂组合物(例如，参照专利文献2)、以及在碱可溶性聚合物中混合萘醌二叠氮化合物及光聚合引发剂而成的感光性组合物(例如，参照专利文献3)。

所述在使用光的平行度差的曝光机的情况下，形成图案尺寸的大小大致与掩模尺寸相同的图案状透明体的以往方法中，专利文献2所记载的组合物虽为高分辨率，但感度低，因此不可以说是实用性的组合物。专利文献3中所记载的组合物为高分辨率且为高感度，但40℃以上的热稳定性存在问题，若在元件的制造步骤中用于涂布部与加热部接近的装置中，则产生涂布液在传送线待机时受到加热、组合物在传送线中发生变化的问题。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2001-324809号

[专利文献2]日本专利特开平06-130664号

[专利文献3]日本专利特开2006-251009号

发明内容

[发明所要解决的问题]

考虑所述状况，而期望开发一种感光性组合物，所述感光性组合物在使用光的平行度差的曝光机的情况下，可形成与掩模尺寸为大致相同大小的图案状透明体，且组合物可耐受40℃以上的保存或使用。

[解决问题的技术手段]

本发明人等人为了解决所述问题点而进行了各种研究，结果发现通过含有如下成分的感光性组合物可达成所述目的，从而完成了本发明，所述成分为：使含有具有羧基的自由基聚合性单体与其他自由基聚合性单体的自由基聚合性单体混合物聚合而获得的碱可溶性聚合物、多官能环氧化合物、具有聚合性双键的化合物、光聚合引发剂、1，2-醌二叠氮(quinone diazide)化合物、以及溶剂。

本发明具有以下的构成。

[1]一种感光性组合物，其含有：

碱可溶性聚合物(A)、多官能环氧化合物(B)、具有聚合性双键的化合物(C)、光聚合引发剂(D)、1，2-醌二叠氮化合物(E)、及溶剂(F)；

碱可溶性聚合物(A)是使含有具有羧基的自由基聚合性单体(a1)与其他自由基聚合性单体(a2)的自由基聚合性单体混合物聚合而获得，且

具有羧基的自由基聚合性单体(a1)与其他自由基聚合性单体(a2)均不具有环氧基或氧杂环丁基(oxetanyl)。

[2]根据[1]项所记载的感光性组合物，其中，碱可溶性聚合物(A)是使自由基聚合性单体混合物聚合而获得的共聚物，所述自由基聚合性单体混合物相对于具有羧基的自由基聚合性单体(a1)与其他自由基聚合性单体(a2)的总重量，含有10重量％～60重量％的具有羧基的自由基聚合性单体(a1)以及含有40重量％～90重量％的其他自由基聚合性单体(a2)。

[3]根据[1]项或[2]项所记载的感光性组合物，其中，具有羧基的自由基聚合性单体(a1)为选自丙烯酸与甲基丙烯酸中的至少一种。

[4]根据[1]项至[3]项中任一项所记载的感光性组合物，其中，其他自由基聚合性单体(a2)含有选自具有芳香环的(甲基)丙烯酸酯、具有二环戊基的(甲基)丙烯酸酯、具有二环戊烯基的(甲基)丙烯酸酯、及N-取代顺丁烯二酰亚胺中的至少一种。