[发明专利]一种MOCVD反应室保温隔热装置

权利要求书

1.一种MOCVD反应室保温隔热装置，包括：圆形基座、设于圆形基座上方的载片盘、设于载片盘与圆形基座之间的电阻加热片、连接于电阻加热片边缘与圆形基座之间的电极杆、活动穿过圆形基座和电阻加热片连接于载片盘底面中间的电机转轴，其特征在于，

所述电阻加热片下方设有至少两层隔热屏；

载片盘下方还设有位于所述电阻加热片和隔热屏外圈的圆筒形反射屏，所述圆筒形反射屏的直径与载片盘直径配合。

2.如权利要求1所述的MOCVD反应室保温隔热装置，其特征在于：与电阻加热片相邻的顶层隔热屏厚度大于底层隔热屏。

3.如权利要求2所述的MOCVD反应室保温隔热装置，其特征在于，所述底层隔热屏下方设有活动套于电机转轴上的隔热屏固定板，所述隔热屏固定板上沿电机转轴为圆轴均匀间隔设有固定杆，所述固定杆上套有套筒，所述隔热屏上设有与固定杆配合的定位孔，所述套筒与隔热屏依次套于固定杆上，相邻两隔热屏之间通过套筒间隔。

4.如权利要求3所述的MOCVD反应室保温隔热装置，其特征在于：所述圆筒形反射屏底部设有圆筒形反射屏固定板，所述圆筒形反射屏固定板由两块同心的内、外环板构成，所述内、外环板之间的间距与圆筒形反射屏厚度配合，所述圆筒形反射屏底部插于所述内、外环板之间固定。

5.如权利要求4所述的MOCVD反应室保温隔热装置，其特征在于，所述圆筒形反射屏固定板固定于圆形基座上，所述隔热屏固定板通过支撑柱固定于圆筒形反射屏固定板上，所述内环板、隔热屏固定板均设有容纳电极杆穿过的圆孔。

6.如权利要求5所述的MOCVD反应室保温隔热装置，其特征在于，所述电阻隔热屏下方设有四层隔热屏，顶层隔热屏厚度为1mm，三个底层隔热屏厚度为0.5mm，套筒厚度为4mm。

7.如权利要求6所述的MOCVD反应室保温隔热装置，其特征在于，所述隔热屏与圆筒形反射屏表面光洁，隔热屏与圆筒形反射屏采用铁铬铝合金薄板制成。