[发明专利]分选装置及测试装置

权利要求书

1.一种分选装置，是将被测器件运送到测试用插座分选装置，其中包括：

插座嵌合单元，在将保持所述被测器件的器件保持器嵌合到所述测试用插座之前，与所述测试用插座相嵌合；

测试用插座位置检测部，检测在所述测试用插座与所述插座嵌合单元相嵌合的状态下所述插座嵌合单元相对于所述测试用插座的相对位置；

执行器，基于检测到的所述插座嵌合单元的相对位置，调整所述器件保持器上的所述被测器件的位置；

运送部，运送所述被测器件的位置被调整后的所述器件保持器并使其与所述测试用插座相嵌合。

2.根据权利要求1所述的分选装置，其中进一步包括：插座摄像部，在所述测试用插座上嵌合有所述插座嵌合单元的状态下拍摄所述测试用插座及所述插座嵌合单元；

所述测试用插座位置检测部基于所述插座摄像部的拍摄结果检测所述插座嵌合单元相对于所述测试用插座的相对位置。

3.根据权利要求2所述的分选装置，其中，所述插座嵌合单元具有能够从与所述测试用插座相嵌合的面的相对侧而观察的基准标记；

所述插座摄像部从所述插座嵌合单元的所述相对侧对所述插座嵌合单元的包含所述基准标记及所述测试用插座的至少一部分的区域进行拍摄。

4.根据权利要求3所述的分选装置，其中：

所述插座嵌合单元具有在与所述测试用插座相嵌合的状态下能够从所述相对侧对所述测试用插座的至少一部分的电极进行观察的开口部；

所述插座摄像部对包含所述插座嵌合单元的所述基准标记及所述测试用插座的至少一部分的电极的区域进行拍摄；

所述测试用插座位置检测部检测所述测试用插座的电极相对于所述插座嵌合单元的所述基准标记的相对位置。

5.根据权利要求4所述的分选装置，其中，进一步包括与所述器件保持器及所述插座嵌合单元依次嵌合的调整用插座；

所述执行器进一步基于当所述调整用插座嵌合于所述器件保持器的状态下所述器件保持器相对于所述调整用插座的相对位置以及当所述调整用插座嵌合于所述插座嵌合单元的状态下所述插座嵌合单元相对于所述调整用插座的相对位置对所述器件保持器上的所述被测试器件的位置进行调整。

6.根据权利要求5所述的分选装置，其中，所述插座嵌合单元的所述基准标记设置于能够从与所述调整用插座相嵌合的面进行观察且当所述插座嵌合单元与所述调整用插座相嵌合的状态下不被所述调整用插座覆盖的位置。

7.根据权利要求5所述的分选装置，其中进一步包括：

调整用托盘，搭载所述插座嵌合单元；以及

运送部，为了将所述插座嵌合单元依次嵌合于两个以上的所述测试用插座而运送所述调整用托盘。

8.根据权利要求7所述的分选装置，其中，所述调整用托盘搭载多个所述插座嵌合单元；

还包括控制部，为将所述调整用插座依次嵌合于两个以上的所述插座嵌合单元而移动所述调整用插座。

9.根据权利要求7所述的分选装置，其中，所述调整用托盘搭载多个所述插座嵌合单元；

所述运送部为使所述调整用插座依次嵌合于两个以上的所述插座嵌合单元上而运送所述调整用托盘。

10.一种测试装置，是测试所述被测器件的测试装置，包含将所述被测器件运送到所述测试用插座的权利要求1～9中任一项所述的分选装置，其中进一步包括：

测试头，通过所述测试用插座与所述被测器件电连接；以及

测试模块，通过所述测试头测试所述被测器件。