[发明专利]光波导部件、其制造方法及光波导设备

权利要求书

1.一种光波导部件，包括：

光纤安装衬底，设置有光纤对准沟槽，所述光纤对准沟槽具有用于光纤的对准的V形槽或所述V形槽的倒顶部被截去的倒梯形沟槽；

光波导衬底，其中形成有光波导；

树脂层，在所述光纤安装衬底与所述光波导衬底齐平或具有预定偏移量的状态下被对准并且固定；以及

透明树脂，被填充在所述光纤安装衬底与所述光波导衬底彼此面对的间隙中。

2.根据权利要求1所述的光波导部件，

其中，所述光纤安装衬底包括硅衬底。

3.根据权利要求1或2所述的光波导部件，

其中，所述光波导衬底的光波导的芯层包括硅或硅-锗，并且所述光波导的覆层包括SiO₂。

4.根据权利要求3所述的光波导部件，

其中，所述光波导衬底包括SOI衬底，在所述SOI衬底中，单晶硅层以掩埋SiO₂膜位于其间的方式设置在单晶硅衬底上，所述光波导的芯层是通过对所述单晶硅层进行处理而形成的芯层，并且下覆层包括所述掩埋SiO₂膜。

5.一种光波导部件制造方法，包括：

将光纤安装母衬底和光波导衬底的正表面侧布置成面向下，所述光纤安装母衬底设置有光纤对准沟槽，所述光纤对准沟槽具有用于光纤的对准的V形槽或所述V形槽的倒顶部被截去的倒梯形沟槽，在所述光波导衬底中形成有光波导，将所述光纤安装母衬底与所述光波导衬底以透明树脂位于其间的方式布置成彼此面对，并且在所述正表面侧齐平或具有预定偏移量的状态下将所述光纤安装母衬底和所述光波导衬底附接至粘合构件；

利用模制树脂对所述光纤安装母衬底和所述光波导衬底的背表面侧进行模制；

使所述光纤安装母衬底和所述光波导衬底与所述粘合构件分离；以及

以这样的方式来执行切割至预定尺寸：所述光纤安装母衬底的在与面对所述光波导衬底的表面相对侧上的表面被暴露。

6.根据权利要求5所述的光波导部件制造方法，

其中，在将所述光纤安装母衬底附接至所述粘合构件之前，利用填充树脂仅填充所述光纤安装母衬底的所述光纤对准沟槽。

7.根据权利要求6所述的光波导部件制造方法，

其中，在利用所述填充树脂仅填充所述光纤对准沟槽之前，通过没有完全填充所述光纤对准沟槽的薄金属膜来覆盖所述光纤安装母衬底的正表面。

8.根据权利要求6或7所述的光波导部件制造方法，

其中，利用所述填充树脂仅填充所述光纤安装母衬底的所述光纤对准沟槽包括：

将设置有所述光纤对准沟槽的光纤安装原始衬底的正表面侧布置成面向下并且将所述正表面侧附接至粘合构件；

以不覆盖所述光纤安装原始衬底的背表面的方式来利用所述填充树脂覆盖所述光纤安装原始衬底的侧截面，并且利用所述填充树脂填充所述光纤对准沟槽；以及

以露出所述光纤对准沟槽的两个端面的方式将所述光纤安装原始衬底切割成预定尺寸以形成所述光纤安装母衬底。

9.根据权利要求5所述的光波导部件制造方法，

其中，所述光纤对准沟槽具有没有到达所述光纤安装母衬底的在与面对所述光波导衬底的表面相对侧上的表面的端截面的形状，并且

在以所述光纤安装母衬底的在与面对所述光波导衬底的表面相对侧上的表面被暴露的方式切割至预定尺寸时，以使所述光纤对准沟槽的横截面显露的方式来执行切割。

10.一种光波导设备，包括：

根据权利要求1至4中任一项所述的光波导部件；以及

被固定在所述光波导部件的光纤对准沟槽中的光纤。