[发明专利]多层介质膜反射窄带分离滤光片组合器件

权利要求书

1.一种多层介质膜反射窄带分离滤光片组合器件，特征在于其构成是沿光路入射方向依次包括第一平面反射镜(4)、第一反射截止滤光片(5)、第二反射截止滤光片(6)和第二平面反射镜(7)，所述的第一平面反射镜(4)与入射光束成45°角，所述的第一反射截止滤光片(5)与所述的第一平面反射镜(4)相向且平行放置，所述的第二反射截止滤光片(6)与所述的第一反射截止滤光片(5)相向且成90°角放置，所述的第二平面反射镜(7)与所述的第二反射截止滤光片(6)相向且成45°角放置，所述的第一反射截止滤光片(5)和第二反射截止滤光片(6)是膜系相同的短波通反射截止滤光片或长波通反射截止滤光片。

2.根据权利要求1所述的多层介质膜反射窄带分离滤光片组合器件，其特征在于所述的第一反射截止滤光片(1)和第二反射截止滤光片(2)是在玻璃基底上由高折射率膜层和低折射率膜层交替制备而成的，所述的高折射率层的材料为Al₂O₃、Nb₂O₅、HfO₂、Ta₂O₅或TiO₂，所述的低折射率层的材料为SiO₂。