[发明专利]利用相对易腐蚀的金属制备另一种金属图形的剥离方法

权利要求书

1.一种利用相对易腐蚀的金属制备另一种金属图形的剥离方法，包括以下步骤：

1)在衬底上通过蒸发或溅射工艺生长一层易腐蚀金属；

2)在易腐蚀金属的表面旋涂光刻胶，采用常规光刻工艺进行光刻，制作图形；

3)采用ICP刻蚀技术刻蚀易腐蚀金属，在易腐蚀金属上形成沟槽，通过调整工艺参数来增大刻蚀沟槽的横向钻蚀；

4)通过蒸发或溅射工艺，在残余光刻胶表面和沟槽中暴露的衬底上生长待剥离的金属，形成样片；

5)将样片放入易腐蚀金属的腐蚀液中，将易腐蚀金属腐蚀掉，得到了衬底上的金属图形；

6)用去离子水清洗，完成制备。

2.如权利要求1所述的利用相对易腐蚀的金属制备另一种金属图形的剥离方法，其中步骤1中生长的易腐蚀金属的厚度大于待剥离金属的厚度。

3.如权利要求1所述的利用相对易腐蚀的金属制备另一种金属图形的剥离方法，其中步骤3中所述沟槽为“上窄下宽”的沟槽，该沟槽的宽度为0.1-10000μm。

4.如权利要求1所述的利用相对易腐蚀的金属制备另一种金属图形的剥离方法，其中步骤5中样片放入易腐蚀金属的腐蚀液中，加入超声振荡以加速易腐蚀金属的腐蚀过程。

5.如权利要求1所述的利用相对易腐蚀的金属制备另一种金属图形的剥离方法，其中易腐蚀金属的材料为铁、锌或钼。

6.如权利要求1所述的利用相对易腐蚀的金属制备另一种金属图形的剥离方法，其中金属的材料为铝、铬或镍。

7.如权利要求1所述的利用相对易腐蚀的金属制备另一种金属图形的剥离方法，其中腐蚀液为盐酸、磷酸、醋酸、硫酸、氨水、氢氧化钠或氢氧化钾腐蚀液，或是氯化铁具有氧化性的金属盐溶液，或是双氧水与氨水的具有强氧化性的混合溶液，或者上述溶液的混合溶液。