[发明专利]铝掺杂氧化锌附着层的清洗方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种铝掺杂氧化锌附着层的清洗方法，尤其涉及一种太阳能行业中对不锈钢基材挡板上的铝掺杂氧化锌附着层的清洗方法。

背景技术

在真空镀膜过程中，为防止镀膜材料镀到腔室内壁上，或为了控制所镀膜层性能，通常在真空腔室内安装起屏蔽遮挡作用的挡板。当挡板上膜层积累到一定程度后，则需要对挡板上的膜层进行清理，然后挡板再度重复使用。而对于镀有铝掺杂氧化锌即AZO膜层的不锈钢材质的挡板，清理非常困难，一般都只能更换新的挡板，或者简单处理减少部分AZO膜层后再使用，但使用时间会缩短很多。

经检索相关文献，未见有对铝掺杂氧化锌附着层的有效清洗方法，现实中也未见有效方法用于生产。

发明内容

本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种铝掺杂氧化锌附着层的清洗方法。

本发明通过以下技术方案来实现上述目的：

一种铝掺杂氧化锌附着层的清洗方法，包括以下步骤：

(1)将附着有铝掺杂氧化锌的待清洗物件置于硝酸中浸泡1-5小时；

(2)取出后用含气泡的清水冲洗5-20分钟；

(3)再用超声波振荡清洗10-30分钟；

(4)取出待清洗物件，沥干表面积水，放入烘烤箱烘烤至干燥，取出后自然冷却后完成清洗。

作为优选，所述步骤(1)中，采用68％的浓硝酸加水稀释成浓度为10％-15％的稀硝酸，将多个待清洗物件使用网格板隔开分层放置于浸泡容器内；浸泡过程中开气搅拌，浸泡时间为3小时。

所述步骤(2)中，冲洗时间为10分钟。

所述步骤(3)中，用RO纯水(即纯净水)进行超声波振荡清洗，时间为20分钟。

所述步骤(4)中，烘烤箱内的烘烤温度为120℃，烘烤时间为1小时。

本发明的有益效果在于：

经试验，采用本发明所述方法清洗附着有铝掺杂氧化锌的待清洗物件如不锈钢挡板，铝掺杂氧化锌附着层的清除率达99％以上，对不锈钢挡板基材本身无损伤和破坏，处理速度快，无需加热清洗，操作方便。

附图说明

图1是本发明所述铝掺杂氧化锌附着层的清洗方法的工艺流程图；

图2是本发明所述清洗方法所用清洗设备的俯视布局图；

图3是本发明所述清洗方法所用清洗设备和吊装设备的主视结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图以清洗附着有铝掺杂氧化锌的不锈钢挡板对本发明作进一步说明：

如图1、图2和图3所示，本发明所述铝掺杂氧化锌附着层的清洗方法包括以下步骤：

(1)用PP槽作为盛装稀硝酸的硝酸槽1，采用68％的浓硝酸加水稀释成浓度为10％-15％的稀硝酸，将稀硝酸置于硝酸槽1内；然后使用电动葫芦9将装有附着有铝掺杂氧化锌的不锈钢挡板的清洗篮吊装于硝酸槽1内，如果有多个不锈钢挡板，则将多个不锈钢挡板使用网格板隔开分层放置于硝酸槽1内；浸泡过程中开气搅拌，浸泡时间为1-5小时，优选3小时；

(2)使用电动葫芦9将清洗篮吊装于气泡冲洗槽2内，开启气体搅拌，用含气泡的清水冲洗5-20分钟，优选10分钟；

(3)使用电动葫芦9将清洗篮吊装于装有RO纯水的超声波槽3内，再用超声波振荡清洗10-30分钟，优选20分钟；

(4)使用电动葫芦9将清洗篮吊装出超声波槽3，再取出已经清洗掉绝大部分铝掺杂氧化锌的不锈钢挡板，置于沥水架4上，沥干表面积水，然后放入烘烤箱5烘烤至干燥，烘烤箱5内的烘烤温度为120℃，烘烤时间为1小时；完成烘烤后取出不锈钢挡板置于包装台6上自然冷却后完成整个清洗过程，不锈钢挡板上残留的铝掺杂氧化锌不足1％，然后将不锈钢挡板放在待处理工件区7，待循环利用。

图3中示出了整个工作间的布局，其中包括上料区8和吊装支架11，电动葫芦9安装在吊装支架11的顶部，硝酸槽1、气泡冲洗槽2、超声波槽3、沥水架4、烘烤箱5、包装台6和待处理工件区7共同构成清洗流水线10，在清洗流水线10区域内由工人配合电动葫芦9进行清洗篮的转移，将不锈钢挡板取出清洗篮后，则由工人直接操作实现不锈钢挡板的转移。

上述实施例只是本发明的较佳实施例，并不是对本发明技术方案的限制，只要是不经过创造性劳动即可在上述实施例的基础上实现的技术方案，均应视为落入本发明专利的权利保护范围内。