[发明专利]一种化学机械研磨组合物有效
| 申请号： | 201410507649.2 | 申请日： | 2014-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN104371649B | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 顾泉 | 申请（专利权）人： | 顾泉 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;C09G1/02 |
| 代理公司： | 上海麦其知识产权代理事务所(普通合伙)31257 | 代理人： | 董红曼 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 研磨 组合 | ||
【权利要求书】：
1.一种化学机械研磨组合物，其特征在于，所述研磨组合物包括：涂布金属化合物之研磨粒、氧化剂、腐蚀抑制剂和水；其中，所述腐蚀抑制剂为胺-N-氧化物，选自吡啶-N-氧化物、吗啉-N-氧化物、喹啉-N-氧化物、吡嗪-N-氧化物、嘧啶-N-氧化物、哒嗪-N-氧化物、或吡咯啉-N-氧化物中的一种或多种；所述研磨粒为气相二氧化硅、二氧化硅溶胶、气相氧化铝或其任意组合；所述氧化剂为过氧化氢；所述研磨组合物的pH值为2-6；所述涂布金属化合物之研磨粒含量为0.1％-5％重量百分比，所述氧化剂含量为1％-10％重量百分比，所述腐蚀抑制含量为10ppm-5000ppm重量百分比，余量为水。
2.如权利要求1所述的化学机械研磨组合物，其特征在于，所述涂布金属化合物之研磨粒含量为0.5-3％重量百分比；所述氧化剂含量为2-5％重量百分比；所述腐蚀抑制剂含量为100-1000ppm重量百分比；余量为水。
3.如权利要求1所述的化学机械研磨组合物，其特征在于，所述涂布金属化合物之研磨粒由研磨粒与金属盐通过离子交换树脂而形成；其中，所述金属化合物为铁化合物、铜化合物或银化合物。
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