[发明专利]太阳能电池及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及太阳能电池及其制造方法。

背景技术

在半导体层的背面表面上具有钝化层的太阳能电池通常具有背面电极，所述背面电极穿过钝化层而与半导体层电接触。

US20090301557公开了用于制备钝化发射极和后部电池(PERC)太阳能电池的方法，所述太阳能电池在背面上具有钝化层。背面电极被形成在钝化层上，所述钝化层具有孔使得其能够接触半导体。

WO2009/032429公开了一种制备PERC太阳能电池的方法。通过丝网印刷并焙烧包含另一种金属诸如银、铜、镍的铝浆而在背面上的钝化层上部分地形成背面电极，所述另一种金属能够烧透钝化层。

发明内容

一个目的是提供通过使用银浆和铝浆来制造太阳能电池背面电极的方法。

一个方面涉及一种用于制造太阳能电池的方法，所述方法包括以下步骤：a)提供半导体基板，所述半导体基板具有受光面和背面，其中在背面上形成钝化层；b)以指定图案将包含含银粉末的第一导电浆料施涂在半导体基板的背面上，从而形成银导体图案，其中第一导电浆料包含选自以下的金属树脂酸盐：树脂酸铑(Rh)、树脂酸钌(Ru)以及它们的混合物；c)以指定图案将包含铝粉末的第二导电浆料施涂在半导体基板的背面上，从而形成铝导体图案，铝导体图案的至少一部分叠加在银导体图案的至少一部分上；以及d)同时焙烧银导体图案和铝导体图案，从而通过在其中银导体图案和铝导体图案叠加的区域中进行烧透而在半导体基板和铝导体图案之间形成电触点，其中通过烧透形成的电触点不在其中银导体图案和铝导体图案不叠加的区域中形成。

另一方面涉及用于制造太阳能电池的方法，所述方法包括以下步骤：a)提供半导体基板，所述半导体基板具有受光面和背面，其中在背面上形成钝化层；b)以指定图案将包含铝粉末的第二导电浆料施涂在半导体基板的背面上，从而形成铝导体图案；c)以指定图案将包含含银粉末的第一导电浆料施涂在半导体基板的背面上，其中第一导电浆料包含选自以下的金属树脂酸盐：树脂酸铑(Rh)、树脂酸钌(Ru)以及它们的混合物，从而形成银导体图案，银导体图案的至少一部分叠加在铝导体图案的至少一部分上；以及d)同时焙烧银导体图案和铝导体图案，从而通过在其中银导体图案和铝导体图案叠加的区域中进行烧透而在半导体基板和铝导体图案之间形成电触点，其中通过烧透形成的电触点不在其中银导体图案和铝导体图案不叠加的区域中形成。

通过本发明形成的太阳能电池可具有优异的电特性。

附图说明

图1A至1D说明了制造太阳能电池的方法。

图2(a)、(b)和(c)为背面上的银导体图案和铝导体图案的后视图。

图3(a)、(b)和(c)为背面上的银导体图案和铝导体图案的横截面图。

图4示出了作为例子结果的由于第一导电浆料中存在不同量的树脂酸铑而导致的太阳能电池效率。

图5示出了作为例子结果的由于第一导电浆料中存在不同种类的金属树脂酸盐而导致的太阳能电池效率。

具体实施方式

用于制造太阳能电池的方法包括以下步骤：a)提供半导体基板；b)形成银(Ag)导体图案；c)形成铝(Al)导体图案；以及d)同时焙烧银导体图案和铝导体图案。

在一个实施例中，通过施涂银浆来形成银导体图案。在另一个实施例中，通过气相沉积含银粉末来形成银导体图案。

在一个实施例中，通过施涂铝浆来形成铝导体图案。在另一个实施例中，通过气相沉积铝来形成铝导体图案。

下文参见图1A至1D作为使用浆料的实施例来说明制造太阳能电池的方法。

制备半导体基板10(图1A)。钝化层12a和另一个钝化层12b分别被完全形成在半导体基板10的背面和受光面上。所述PERC太阳能电池的特征在于背面上的钝化层12a，所述钝化层能够减少靠近背面表面的空穴和电子的重组。虽然半导体层10的受光面上的钝化层12b在本发明中不是必需的，但其能够用作减反射涂层(ARC)以及钝化层。

在一个实施例中，半导体基板10可为被形成在半导体基板10的受光面上的p掺杂的硅片和n型扩散层。所述p掺杂的硅片可掺杂有硼。

钝化层12a和12b能够由氧化钛、氧化铝、氮化硅、氧化硅、氧化铟锡、氧化锌或碳化硅形成。