[发明专利]用于研磨蓝宝石基板的研磨组合物及其应用

权利要求书

1.一种用于研磨蓝宝石基板的研磨组合物，其特征在于，所述研磨组合物包括研磨粒、安定剂、界面活性剂和水；其中，所述研磨粒含量为15％-40％重量百分比；所述安定剂含量为0.005％-0.5％重量百分比；所述界面活性剂含量为0.005％-1％重量百分比。

2.如权利要求1所述的研磨组合物，其特征在于，所述研磨粒为二氧化硅、三氧化二铝、二氧化铈、二氧化锆、二氧化钛或其任意组合。

3.如权利要求2所述的研磨组合物，其特征在于，所述研磨粒为二氧化硅。

4.如权利要求1所述的研磨组合物，其特征在于，所述研磨粒的平均粒径范围为70nm-140nm。

5.如权利要求1所述的研磨组合物，其特征在于，所述研磨粒粒径分布半高宽不大于15nm。

6.如权利要求1所述的研磨组合物，其特征在于，所述安定剂为羟丙基纤维素、羟丙基甲基纤维素。

7.如权利要求1所述的研磨组合物，其特征在于，所述界面活性剂为椰油酰单乙醇胺、椰油酰二乙醇胺、月桂酰二乙醇胺或其任意组合。

8.如权利要求1所述的研磨组合物在研磨蓝宝石基板中的应用。