[发明专利]喷头装置有效

专利信息
申请号: 201410512483.3 申请日: 2014-09-29
公开(公告)号: CN105437083B 公开(公告)日: 2018-11-06
发明(设计)人: 代迎伟;金一诺;王坚;王晖 申请(专利权)人: 盛美半导体设备(上海)有限公司
主分类号: B24B57/02 分类号: B24B57/02
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 陆嘉
地址: 201203 上海市浦东新*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 喷头 装置
【权利要求书】:

1.一种喷头装置,其特征在于,包括:

缓冲部,所述缓冲部设有缓冲腔、进液端和出液端;

喷头本体,所述喷头本体固定在缓冲部的出液端,喷头本体设有喷嘴、数个液体出口和与喷嘴相连接的顶盖,喷头本体的喷嘴和数个液体出口分别与缓冲部的出液端连接;

调节装置,所述调节装置包括遮挡在数个液体出口上方并位于顶盖下方的遮挡部件及位于缓冲腔内的致动部件,所述致动部件与遮挡部件联动;

电极,所述电极设置在缓冲腔的内壁并靠近缓冲部的出液端;

气泡隔离部件,所述气泡隔离部件与喷头本体连接并位于缓冲腔内,气泡隔离部件阻止电极处产生的气泡进入喷头本体的喷嘴;

其中,所述遮挡部件和液体出口之间形成能调节的间隙,经缓冲部输出的液体的一部分由喷嘴输出,另一部分由所述间隙溢出,所述致动部件根据输入至缓冲部的液体的量的大小移动,致动部件与遮挡部件的联动调节间隙的大小以改变由所述间隙溢出的液体的量,使得由所述喷嘴输出的液体的量维持稳定。

2.根据权利要求1所述的喷头装置,其特征在于,所述遮挡部件包括:

遮盖,遮盖设置在喷头本体的数个液体出口的上方并遮挡住该数个液体出口,遮盖设有数对限位孔;

数对限位件,数对限位件穿过遮盖的数对限位孔并固定在喷头本体上,所述遮盖沿限位件上升或下降;

垫片,垫片设置在遮盖与喷头本体之间,使得遮盖与喷头本体之间形成间隙;

弹性件,弹性件设置在遮盖与限位件的上端之间。

3.根据权利要求2所述的喷头装置,其特征在于,所述致动部件包括:

挡板,挡板设置在缓冲部的缓冲腔内并正对着缓冲部的进液端;

连接架,连接架的一端与挡板连接,连接架的另一端与遮盖连接。

4.根据权利要求1所述的喷头装置,其特征在于,所述缓冲部的进液端通过一管阻消除部件连接到一脉冲供液装置。

5.根据权利要求4所述的喷头装置,其特征在于,所述管阻消除部件是回型管路,回型管路的一端连接到脉冲供液装置,回型管路的另一端连接到缓冲部的进液端。

6.根据权利要求5所述的喷头装置,其特征在于,所述脉冲供液装置是气动隔膜泵。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的喷头装置,其特征在于,所述数个液体出口对称分布在喷嘴的周向。

8.根据权利要求7所述的喷头装置,其特征在于,所述遮挡部件包括数个独立的部件,喷头本体的每个液体出口的上方设置一个所述独立的部件以遮挡住该液体出口。

9.根据权利要求1所述的喷头装置,其特征在于,所述气泡隔离部件为圆筒形,气泡隔离部件位于喷嘴与液体出口之间,气泡隔离部件设有若干通道,每一通道的内口的最高点低于该通道外口的最低点。

10.根据权利要求9所述的喷头装置,其特征在于,所述电极为圆筒形,电极的轴向长度短于气泡隔离部件的轴向长度。

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