[发明专利]处理液供给装置和处理液供给方法

权利要求书

1.一种处理液供给装置，其特征在于，

该处理液供给装置包括：

处理液供给源，其用于供给用于处理被处理体的处理液；

喷出部，其经由供给路径与上述处理液供给源相连接，用于向被处理体喷出上述处理液；

过滤器装置，其设置在上述供给路径上，用于去除处理液中的异物；

泵，其设置在上述供给路径上；以及

控制部，其输出控制信号而执行如下步骤：

利用上述泵的吸入来将自上述过滤器装置的初级侧经由该过滤器装置而通到次级侧后的处理液的一部分自上述喷出部喷出的步骤；

使通到上述次级侧后的处理液中的、除了上述处理液的一部分之外的余下的处理液返回到上述过滤器装置的初级侧的步骤；以及

利用上述泵使返回到上述过滤器装置的初级侧的处理液连同自上述处理液供给源补充的处理液一起自过滤器装置的初级侧经由该过滤器装置而通到次级侧的步骤，

将自上述喷出部喷出的处理液的喷出量与返回到上述过滤器装置的处理液的返回量之间的比例设定为1：1～1：20，

其中，该处理液供给装置包括返回流路，该返回流路具有设于上述过滤器装置的外侧的流路，

上述余下的处理液经由上述返回流路返回到上述过滤器装置的初级侧，

上述返回流路由以下流路构成：第1返回流路，其将上述泵的喷出侧与上述过滤器装置的初级侧之间连接起来；上述过滤器装置内的流路；以及第2返回流路，其将上述过滤器装置的次级侧与该过滤器装置的初级侧之间连接起来，

上述控制部输出控制信号而使上述余下的处理液经由上述第1返回流路、过滤器装置以及第2返回流路返回到上述过滤器装置的初级侧。

2.根据权利要求1所述的处理液供给装置，其特征在于，

自上述处理液供给源补充的处理液的补充量是与自上述喷出部喷出的处理液的喷出量相当的量。

3.根据权利要求1所述的处理液供给装置，其特征在于，

用于捕集并排出气泡的捕集贮液部设于上述过滤器装置的次级侧，

上述捕集贮液部夹设于上述返回流路的中途。

4.一种处理液供给装置，其特征在于，

该处理液供给装置包括：

处理液供给源，其用于供给用于处理被处理体的处理液；

喷出部，其经由供给路径与上述处理液供给源相连接，用于向被处理体喷出上述处理液；

过滤器装置，其设置在上述供给路径上，用于去除处理液中的异物；

泵，其设置在上述供给路径上；以及

控制部，其输出控制信号而执行如下步骤：

利用上述泵的吸入来将自上述过滤器装置的初级侧经由该过滤器装置而通到次级侧后的处理液的一部分自上述喷出部喷出的步骤；

使通到上述次级侧后的处理液中的、除了上述处理液的一部分之外的余下的处理液返回到上述过滤器装置的初级侧的步骤；以及

利用上述泵使返回到上述过滤器装置的初级侧的处理液连同自上述处理液供给源补充的处理液一起自过滤器装置的初级侧经由该过滤器装置而通到次级侧的步骤，

将自上述喷出部喷出的处理液的喷出量与返回到上述过滤器装置的处理液的返回量之间的比例设定为1：1～1：20，

该处理液供给装置包括：相当于上述泵的喷出泵，其设于上述供给路径的位于过滤器装置的次级侧的部分；以及

供给泵，其设于上述供给路径的位于过滤器装置的初级侧的部分，

上述控制部输出控制信号，从而使用上述喷出泵和供给泵使上述余下的处理液返回到上述过滤器装置的初级侧并向上述供给泵补充来自上述处理液供给源的处理液，

该处理液供给装置包括返回流路，该返回流路具有设于上述过滤器装置的外侧的流路，

上述余下的处理液经由上述返回流路返回到上述供给泵的吸入侧，

上述返回流路由以下流路构成：第3返回流路，其自上述喷出泵的喷出侧起延伸到上述供给泵的喷出侧与过滤器装置的初级侧之间；上述过滤器装置内的流路；以及第4返回流路，其自上述过滤器装置的次级侧与上述喷出泵的吸入侧之间起延伸到上述供给泵的吸入侧，

上述控制部输出控制信号而使上述余下的处理液经由上述第3返回流路、过滤器装置以及上述第4返回流路返回到供给泵的吸入侧。