[发明专利]晶圆导静电装置

说明书

技术领域

本发明涉及硅片清洗设备中的组件，尤其涉及去除晶圆表面上的静电的装置。

背景技术

在晶圆清洗设备中，晶圆卡盘用于承载晶圆，在某些工艺中晶圆卡盘需要高 速旋转，例如，在晶圆清洗设备腔体中，为了清洗晶圆上残留的液体，需要晶圆 卡盘带动晶圆高速旋转。

而在工艺流程中，晶圆表面往往会残留静电，这些残留的静电会对晶圆产生 不利的影响。如何去除晶圆表面的这些残余静电，是业界亟待解决的一个课题。

发明内容

以下给出一个或多个方面的简要概述以提供对这些方面的基本理解。此概述 不是所有构想到的方面的详尽综览，并且既非旨在指认出所有方面的关键性或决 定性要素亦非试图界定任何或所有方面的范围。其唯一的目的是要以简化形式给 出一个或多个方面的一些概念以为稍后给出的更加详细的描述之序。

本发明的目的在于解决上述问题，提供了一种晶圆导静电装置，通过简单高 效的方式去除晶圆表面的残余静电。

本发明的技术方案为：本发明揭示了一种晶圆导静电装置，包括：

多对导静电座子，位于晶圆卡盘的边缘，用于承接晶圆；

多对第一导静电棒，位于晶圆卡盘下方，和每一导静电座子连接；

多对第二导静电棒，位于晶圆卡盘下方的轴上，和对应的第一导静电棒连接。

根据本发明的晶圆导静电装置的一实施例，该多对导静电座子的位置是对称 的，相应的该多对第一导静电棒的位置是对称的。

根据本发明的晶圆导静电装置的一实施例，晶圆表面的静电通过导静电座子、 第一导静电棒、第二导静电棒将静电导电到底部的金属底板上。

根据本发明的晶圆导静电装置的一实施例，导静电座子上和晶圆的接触面是 导电材料。

根据本发明的晶圆导静电装置的一实施例，导静电座子、第一导静电棒、第 二导静电棒的导电材料包括碳。

本发明对比现有技术有如下的有益效果：本发明将位于晶圆卡盘边缘的承载 晶圆的座子和晶圆接触面设计成导电材料，并在卡盘下方以及轴边分别加装导静 电棒，导静电棒和座子上的导电面接触，可以将晶圆表面的静电通过座子上的导 电接触面、卡盘下方的导静电棒以及轴边的导静电棒，将晶圆表面的残余静电导 出。

附图说明

图1示出了本发明的晶圆导静电装置的较佳实施例的俯视图。

图2示出了图1所示实施例的仰视图。

图3示出了图1所示实施例的正视图。

图4示出了晶圆导静电装置中的导静电座子的局部放大图。

具体实施方式

在结合以下附图阅读本公开的实施例的详细描述之后，能够更好地理解本发 明的上述特征和优点。在附图中，各组件不一定是按比例绘制，并且具有类似的 相关特性或特征的组件可能具有相同或相近的附图标记。

图1示出了本发明的晶圆导静电装置的较佳实施例的俯视图，图2示出了图 1所示实施例的仰视图，图3示出了图1所示实施例的正视图。请同时参见图1 至图3，本实施例的晶圆导静电装置包括三个部件：多对导静电座子1、多对第一 导静电棒2、多对第二导静电棒3。

导静电座子1位于晶圆卡盘4的边缘，用于承接晶圆5。导静电座子1的结 构请见图4的局部放大图。导静电座子1上和晶圆5的接触面是导电材料，例如 图4中的阴影部分就是和晶圆接触的导电面，导电面将晶圆表面上残留的静电导 出。

回到图1，导静电座子1的位置是对称的。在图1中，设置了一对导静电座 子。但这仅为举例，也可以是两对或以上。但无论多少对，这些导静电座子的分 布必须对称，也就是说相邻两对座子之间的间距是等距的。

第一导静电棒2位于晶圆卡盘4下方，和每一导静电座子1连接。第一导电 棒2的作用是通过和导静电座子的导电面的接触，将静电继续从导静电座子中导 出。和导静电座子的位置相对应，第一导静电棒2在卡盘下方的位置也是对称的。 这种对称的设计是为了晶圆卡盘4在高速旋转时保持平衡。

第二导静电棒3位于晶圆卡盘下方的轴6上，和对应的第一导静电棒2连接。 第二导静电棒3的作用是通过和第一导静电棒2的接触，将静电继续从第一导静 电棒2中导出到底部的金属板7中。第二导静电棒3的位置也是和第一导静电棒 的位置相对应。此处的第一导静电棒和第二导静电棒实际上可以是同样的材质和 构造，加以区别仅仅是两者的位置不同。图3中的箭头代表了静电的走向。