[发明专利]用于等离子体空间电位诊断的Langmuir发射探针

权利要求书

1.用于等离子体空间电位诊断的Langmuir发射探针，其特征在于：包括探针主体与探针支撑；其中，探针主体包括双孔陶瓷管、钍钨丝和铜导线；双孔陶瓷管具有相对轴线对称开设的两条穿线通道；钍钨丝外径为0.1mm，钍含量为2％；钍钨丝弯曲成U型，两端分别与两根铜导线焊接。两根铜导线连带头部的钍钨丝分别由双孔陶瓷管前端伸入两条穿线通道内，使两根铜导线由双孔陶瓷管后端伸出穿线通道，钍钨丝端部位于穿线通道内；两根铜导线与两根屏蔽同轴电缆线的中心信号线焊接；在两根铜导线与屏蔽同轴电缆线的中心信号线焊接点外层均包覆有热缩管；热缩管外部还包覆有防高温绝热层；

所述探针支撑采用倒L型结构管状，内部作为屏蔽同轴电缆线的走线通道；探针主体中双孔陶瓷管后端插入探针支撑安装端内部固定。探针支撑固定端固定安装在水平面上，使探针主体轴线与水平面平行；探针主体所连接的两根屏蔽同轴电缆线由探针支撑的安装端穿入探针支撑内部，由靠近探针支撑的固定端处侧壁上开设的穿出孔穿出，与等离子体装置中设置于真空舱外部的电路系统连接；

上述探针支撑安装在电控位移台中的执行机构上，通过电控位移台实现探针主体的空间位置调整。

2.如权利要求1所述用于等离子体空间电位诊断的Langmuir发射探针，其特征在于：所述双孔陶瓷管的两条穿线通道前端与钍钨丝间通过高温密封胶密封。

3.如权利要求1所述用于等离子体空间电位诊断的Langmuir发射探针，其特征在于：所述热缩管一端分别与双孔陶瓷管端面接触，另一端与屏蔽同轴电缆线闭合，并延伸到至少包覆屏蔽同轴电缆线的外层金属屏蔽皮。

4.如权利要求1所述用于等离子体空间电位诊断的Langmuir发射探针，其特征在于：所述防高温绝热层一端与双孔陶瓷管接触，另一端悬空，延伸到至少包覆位于真空舱内部的屏蔽同轴电缆。

5.如权利要求1所述用于等离子体空间电位诊断的Langmuir发射探针，其特征在于：所述探针主体与探针支撑安装端端部部设计有不锈钢管，不锈钢管后半部伸入探针支撑安装端；并通过固定组件，实现探针主体与探针支撑件的稳固连接，具体为：不锈钢管套在双孔陶瓷管外侧，不锈钢管后半部伸入探针支撑安装端；固定组件包括紧固螺母A、紧固转接件、紧固螺母B；紧固螺母A套在不锈钢管上，周向上通过顶紧卡套将紧固螺母A与不锈钢管顶紧固定；紧固转接件具有大内径段与小内径段，大内径段内径与探针支撑外径相等，套在探针支撑安装端上，小内径段与不锈钢管外径相等，套在不锈钢管上；紧固螺母B套在探针支撑安装端上，周向上通过顶紧卡套将紧固螺母B与探针支撑顶紧固定；紧固螺母A与紧固转接件中小内径段端部间螺纹配合固定；紧固螺母B与紧固转接件中大内径段端部间螺纹配合固定；且使紧固转接件中大内径段与小内径段间形成的环形台肩，与探针支撑安装端端面配合。

6.根据权利要求1所述的用于等离子体诊断的Langmuir探针，其特征是：上述探针主体相对于探针支撑的固定端，垂直距离设计为0.5m，且距离探针支撑中竖直部分的水平距离为0.5m。