[发明专利]磁力计

权利要求书

1.一种磁力计，包括一个悬浮的质量块，一组Y方向位移侦测电极，一组Z方向位移侦测电极，以及一电流供应模块；

该Y方向代表该质量块所在平面上的两垂直方向中的一方向，该质量块所在平面上的两垂直方向中的另一方向为X方向，且该Z方向代表垂直于该平面的方向；其中，

该质量块的长度方向与该Y方向平行，并包括若干金属层与若干介电层，以介电层与金属层交互堆栈方式形成；

该Y方向位移侦测电极与Z方向位移侦测电极分别包括若干金属层与介于任二金属层间的介电层；

该质量块中，对应于该Y方向位移侦测电极的部分，有至少二金属层通过通孔连接；对应于该Z方向位移侦测电极的部分，有至少二金属层通过通孔连接；以及

该Y方向位移侦测电极包括二组电极，各组包括至少二层通过通孔连接的金属层，该Z方向位移侦测电极也包括二组电极，各组包括至少二层通过通孔连接的金属层；以及

该电流供应模块供应可选择的分别沿该X方向或Y方向流经该质量块的电流。

2.如权利要求1所述的磁力计，其特征在于：该通孔用金属材质填充。

3.如权利要求1所述的磁力计，其特征在于：该质量块中，对应于该Y方向位移侦测电极的部分，与对应于该Z方向位移侦测电极的部分位于不同平面。

4.如权利要求1所述的磁力计，其特征在于：该质量块中，对应于该Y方向位移侦测电极的部分，与对应于该Z方向位移侦测电极的部分位于相同平面，并互相电性绝缘。

5.如权利要求1所述的磁力计，其特征在于：还包括一侦测电路，对应于该电流供应模块的供电状态，根据该电流供应模块电流流经该质量块的方向与该Y方向位移侦测电极或该Z方向位移侦测电极的输出，计算X、Y、Z三方向的磁量；其中，该X方向为在该质量块所在平面上，与该Y方向垂直的方向。

6.如权利要求1所述的磁力计，其特征在于：该Y方向位移侦测电极与该Z方向位移侦测电极在靠近该质量块的一侧，均形成向X/Y平面延伸的指状延伸，该X/Y平面为X方向和Y方向形成的平面；该质量块也在靠近该Y方向位移侦测电极与该Z方向位移侦测电极的侧面，形成向该X/Y平面延伸的指状延伸，并延伸进入该Y方向位移侦测电极与该Z方向位移侦测电极的指状延伸形成的凹部内。

7.如权利要求1所述的磁力计，其特征在于：该质量块、该Y方向位移侦测电极与该Z方向位移侦测电极，共同形成于一包含若干金属层与若干介电层依序堆栈形成的结构物上，且该质量块以一空间与该Y方向位移侦测电极、该Z方向位移侦测电极分离。

8.如权利要求7所述的磁力计，其特征在于：该Y方向位移侦测电极位于该结构物的第一与第二金属层；该Y方向位移侦测电极第一组电极包括若干指状电极，第二组电极也包括若干指状电极，两者的指状电极互相交错配置，并使一对包含一支第一组电极指状电极与一支第二组电极指状电极的指状电极对，对应于该质量块的一指状延伸。

9.如权利要求7所述的磁力计，其特征在于：该磁力计包括该Y方向位移侦测电极第一群和该Y方向位移侦测电极第二群，该Y方向位移侦测电极第一群和该Y方向位移侦测电极第二群分别包括二组电极，均位于该结构物的第一、第二金属层。

10.如权利要求8所述的磁力计，其特征在于：该Y方向位移侦测电极各组电极的第一与第二金属层通过一通孔连接。

11.如权利要求8或9所述的磁力计，其特征在于：该Z方向位移侦测电极分别位于该结构物的第三、第四金属层，以及第五、第六金属层；该第三、第四金属层与该第五、第六金属层位于Z方向上的不同高度。