[发明专利]一种光刻胶清洗液

权利要求书

1.一种光刻胶清洗液，含有水、醇胺、醇醚，其特征在于，所述光刻胶清洗液还包括连苯三酚及其衍生物和C3-C6多元醇，且所述的清洗液不含有氟化物、羟胺、环状胺和季胺氢氧化物；所述C3-C6多元醇为1，2-丙二醇、1，3-丙二醇、丙三醇、苏糖醇、赤藓醇、核糖醇、阿拉伯糖醇、木糖醇、塔罗糖醇、山梨醇、甘露醇、艾杜糖醇和/或半乳糖醇；所述连苯三酚及其衍生物为连苯三酚、4-甲基连苯三酚、5-甲基连苯三酚、4-甲氧基连苯三酚、5-甲氧基连苯三酚、5-叔丁基连苯三酚、5-羟甲基连苯三酚、没食子酸、没食子酸甲酯和/或1-没食子酸甘油酯；所述C3-C6多元醇的含量为质量百分比0.1-5％；所述连苯三酚及其衍生物的含量为质量百分比0.1-10％；所述水的含量为质量百分比5-40％；所述醇醚的含量为质量百分比5-30％；所述醇胺的含量为质量百分比30-70％。

2.如权利要求1所述的光刻胶清洗液，其中，所述C3-C6多元醇的含量为质量百分比0.1-3％。

3.如权利要求1所述的光刻胶清洗液，其中，所述连苯三酚及其衍生物的含量为质量百分比0.5-8％。

4.如权利要求1所述的光刻胶清洗液，其中，所述水的含量为质量百分比10-35％。

5.如权利要求1所述的光刻胶清洗液，其中，所述醇醚为二乙二醇单烷基醚和/或二丙二醇单烷基醚。

6.如权利要求5所述的光刻胶清洗液中， 其中，所述二乙二醇单烷基醚为二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚和/或二乙二醇单丁醚；所述二丙二醇单烷基醚为二丙二醇单甲醚、二丙二醇单乙醚和/或二丙二醇单丁醚。

7.如权利要求1所述的光刻胶清洗液，其中，所述醇醚的含量为质量百分比10-25％。

8.如权利要求1所述的光刻胶清洗液，其中，所述醇胺为单乙醇胺、N-甲基乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、异丙醇胺、乙基二乙醇胺、N，N-二乙基乙醇胺、N-(2-氨基乙基)乙醇胺和/或二甘醇胺。

9.如权利要求1所述的光刻胶清洗液，其中，所述醇胺的含量为质量百分比40-60％。

10.一种如权利要求1-9任一项所述的清洗液在去除光阻残留物的应用。