[发明专利]带有印制电路板的半导体模块及其制造方法有效
申请号: | 201410516578.2 | 申请日: | 2014-09-30 |
公开(公告)号: | CN104517909B | 公开(公告)日: | 2017-12-15 |
发明(设计)人: | O.霍尔费尔德 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/053 | 分类号: | H01L23/053;H01L23/16;H01L23/36;H01L21/52 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人: | 臧永杰,胡莉莉 |
地址: | 德国瑙伊比*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 带有 印制 电路板 半导体 模块 及其 制造 方法 | ||
1.半导体模块,包括:
印制电路板(4),该印制电路板具有绝缘材料(40)、构造在绝缘材料(40)中的凹部(44)、以及第一金属化层(41,42),所述第一金属化层部分地嵌入该绝缘材料(40)中并且具有印制导线凸起(411,421),所述印制导线凸起伸入凹部(44)中;
陶瓷衬底(2),该陶瓷衬底具有介电的、陶瓷的绝缘载体(20)以及施加到绝缘载体(20)的上侧(20t)上的上衬底金属化部(21);以及
半导体芯片(25),其布置在上衬底金属化部(21)上;
其中所述第一金属化层(41,42)在印制导线凸起(411,421)处与上衬底金属化部(21)机械地并且导电地连接。
2.根据权利要求1所述的半导体模块,其中在所述印制导线凸起(411,421)和所述上衬底金属化部(21)之间的导电连接被构造为材料决定的连接并且借助导电的连接层(32)实现,所述导电的连接层直接接触所述印制导线凸起(411,421)以及所述上衬底金属化部(21)。
3.根据权利要求2所述的半导体模块,其中所述连接层(32)被构造为焊料层,或者被构造为具有经烧结的金属粉末的层,或者被构造为粘合层。
4.根据权利要求1至3之一所述的半导体模块,其中
所述凹部(44)被构造为所述印制电路板(4)的通孔;以及
所述印制电路板(4)构成环状的壳体,该壳体包围半导体芯片(25)。
5.根据权利要求1至3之一所述的半导体模块,其中
所述上侧(20t)在垂直于下侧(20b)的垂直方向(v)上与上侧(20t)相间隔;以及
所述陶瓷的绝缘载体(20)被确定尺寸为,使得该陶瓷的绝缘载体在每个与垂直方向(v)垂直的水平方向(r)上分别具有宽度(w20),其小于所述凹部(44)在同一水平方向(r)上所具有的宽度(w44)。
6.根据权利要求1至3之一所述的半导体模块,其中
陶瓷衬底(2)具有与上侧(20t)相对的下侧(20b);
该陶瓷衬底(2)关于所述印制电路板(4)具有静止位置;以及
当所述陶瓷衬底(2)相对于印制电路板(4)在垂直方向(v)上被偏转1mm时,大于10N和/或小于60N的回弹力作用于该陶瓷衬底(2),其中所述垂直方向垂直于下侧(20b)地从下侧(20b)伸展至上侧(20t)。
7.根据权利要求1至3之一所述的半导体模块,具有浇注材料(36),该浇注材料至少部分地布置在凹部(44)中并且从上侧(20t)延伸直至半导体芯片(25)上方,使得半导体芯片(25)由浇注材料(36)覆盖。
8.根据权利要求7所述的半导体模块,具有接合线(91、92、93),其通过线接合直接接合到该陶瓷衬底(2)的金属化部(21)和/或直接接合到半导体芯片(25)的负载端子(251)上,其中浇注材料(36)从上侧(20t)延伸直至接合线(91、92、93)上方,使得接合线(91、92、93)由浇注材料(36)覆盖。
9.根据权利要求7所述的半导体模块,其中所述浇注材料(36)是硅酮凝胶。
10.根据权利要求7所述的半导体模块,其中在陶瓷衬底(2)和印制电路板(4)之间的间隙(24)通过环状闭合的粘合焊瘤(35)完全密封。
11.根据权利要求10所述的半导体模块,其中所述浇注材料(36)接触所述粘合焊瘤(35)。
12.根据权利要求7所述的半导体模块,具有冷却体(1)、密封圈(37),所述密封圈不仅靠近冷却体(1)而且靠近印制电路板(4),其中所述浇注材料(36)接触密封圈(35)。
13.根据权利要求7所述的半导体模块,其中所述印制导线凸起(411,421)嵌入所述浇注材料(36)中。
14.根据权利要求7所述的半导体模块,其中所述浇注材料(36)延伸直至印制电路板(4)并且碰触绝缘材料(40)。
15.根据权利要求1至3之一所述的半导体模块,其中所述半导体芯片(25)至少部分或者完全地布置在所述凹部(44)中。
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