[发明专利]用于检查微观样本的光显微镜和显微镜学方法

权利要求书

1.一种用于检查微观样本(50)的显微镜学方法，

其中，通过光源设备(10)，将照明光(11)发射到所述样本(50)，

其中，通过光学成像装置(39，40)，将来自所述样本(50)的样本光(55)引导到检测器单元(30)，

其中，通过所述检测器单元(30)，测量所述样本光(55)来产生样本记录，

其中，从每一样本记录，获得用于所述样本(50)的分别的多个横向区域(x1-x4)的高度信息，

其中，将每一样本记录的高度信息限定到各自的高度测量范围(4，5)，并且不同样本记录的高度测量范围(4，5)相互不同，并且

其中，由所述样本记录计算整合不同样本记录的高度信息的整体图像，

其特征在于：

在使得不同样本记录的所述高度测量范围(4，5)相互重叠的高度，记录样本记录，

在两个分别的样本记录中识别共同横向区域(x3)，对所述共同横向区域(x3)，能在两个样本记录中获得高度信息，

在至少一个共同横向区域(x3)的不同样本记录的高度信息的基础上，确定不同样本记录的高度信息之间的联系，

对每一样本记录，确定并选择高度位于各自的高度测量范围(4，5)内的横向区域(x1，x3；x2，x3)，并且

仅使用这些被选择的横向区域(x1，x3；x2，x3)的高度信息来计算所述整体图像。

2.根据权利要求1所述的显微镜学方法，

其特征在于，

将同一个高度值指定给所述两个样本记录的这些共同横向区域(x3)的每一个。

3.根据权利要求1或2所述的显微镜学方法，

其特征在于，

计算两个样本记录的高度测量范围(4，5)之间的高度偏移，来通过计算共同横向区域(x3)的这些样本记录的高度信息之间的差并使这两个样本记录中的一个的高度信息移动所述高度偏移，联系这两个样本记录的高度信息。

4.根据权利要求1所述的显微镜学方法，

其特征在于，

在两个样本记录中识别多个共同横向区域(x3，x4)的情况下，使用所有共同横向区域(x3，x4)的高度信息来确定仅能在两个样本记录中的一个中获得高度信息的剩余横向区域(x1，x2)的高度信息的联系。

5.根据权利要求1所述的显微镜学方法，

其特征在于，

当使用多个共同横向区域(x3，x4)的高度信息来确定高度信息的联系时，不同地加权所述多个共同横向区域(x3，x4)的高度信息。

6.根据权利要求1所述的显微镜学方法，

其特征在于，

将所述横向区域(x1，x2，x3，x4)中的一个的高度信息固定为每一样本记录中的基准点，

将在不同横向区域(x1，x2，x3，x4)的样本记录中获得的高度信息表达为相对于该样本记录的所述基准点的相对高度，

对两个样本记录中的共同横向区域中的至少一个(x3)，确定在对所述两个样本记录中的该横向区域(x3)确定的两个相对高度之间的差，

通过所确定的差，确定高度偏移；并且

为联系所述两个样本记录的高度信息，通过所述高度偏移，改变这些样本记录中的一个的相对高度。

7.根据权利要求1所述的显微镜学方法，

其特征在于，

执行高度扫描，在所述高度扫描期间，对每一样本记录，调整所述样本(50)的高度范围，将来自所述样本(50)的样本光(50)引导到所述检测器单元(30)上。