[发明专利]基于SAW传感器的检测装置

权利要求书

1.基于SAW传感器的检测装置，其特征在于：包括底板(1)、基体(2)、SAW晶片(3)，所述底板(1)上设置有检测电路；所述SAW晶片(3)包括压电基底(301)、感应薄膜(302)、输入叉指电极(303)、输出叉指电极(304)，所述感应薄膜(302)、输入叉指电极(303)、输出叉指电极(304)均设置在压电基底(301)的同一表面，所述输入叉指电极(303)、输出叉指电极(304)分别设置在感应薄膜(302)的两侧，所述输入叉指电极(303)上连接有用于接入外部信号的输入电极(305)，所述输入电极(305)与检测电路相连，所述输出叉指电极(304)上连接有用于输出信号的输出电极(306)，所述输出电极(306)与检测电路相连；所述基体(2)固定在底板(1)上，所述基体(2)与底板(1)相接触的表面设置有晶片槽(4)以及多个导线槽(5)，所述SAW晶片(3)设置在晶片槽(4)内且固定在底板(1)上，所述多个导线槽(5)分别设置在晶片槽(4)的两侧，所述晶片槽(4)的槽底设置有环形槽(6)，所述环形槽(6)内设置有密封圈(7)，所述SAW晶片(3)的感应薄膜(302)朝向晶片槽(4)的槽底并且所述密封圈(7)与SAW的感应薄膜(302)、晶片槽(4)的槽底共同围成一个密闭的检测空间，所述环形槽(6)的中部开有引流孔(8)，所述检测空间通过引流孔(8)与外界连通。

2.如权利要求1所述的基于SAW传感器的检测装置，其特征在于：所述底板(1)采用PCB板制作而成。

3.如权利要求2所述的基于SAW传感器的检测装置，其特征在于：所述检测电路包括信号接入端、信号输出端、第一连接电极、第二连接电极，所述信号接入端与第一连接电极相连，所述信号输出端与第二连接电极相连，所述信号接入端与第一连接电极之间、信号输出端与第二连接电极之间均设置有匹配电阻，所述输入电极(305)与第一连接电极相连，所述输出电极(306)与第二连接电极相连。

4.如权利要求1所述的基于SAW传感器的检测装置，其特征在于：所述感应薄膜(302)的表面积大于密封圈(7)的圈内面积。

5.如权利要求1所述的基于SAW传感器的检测装置，其特征在于：所述底板(1)与基体(2)通过螺栓(9)固定。

6.如权利要求5所述的基于SAW传感器的检测装置，其特征在于：所述螺栓(9)采用内六角圆头螺栓(9)并且内六角圆头螺栓(9)采用尼龙材料制作而成。

7.如权利要求1所述的基于SAW传感器的检测装置，其特征在于：所述基体(2)采用聚甲基丙烯酸甲酯材料制作而成。

8.如权利要求1所述的基于SAW传感器的检测装置，其特征在于：所述压电基底(301)采用S-T石英制作而成。

9.如权利要求1所述的基于SAW传感器的检测装置，其特征在于：所述感应薄膜(302)、输入叉指电极(303)、输出叉指电极(304)、输入电极(305)、输出电极(306)均采用Au材料制作而成。

10.如权利要求1所述的基于SAW传感器的检测装置，其特征在于：所述密封圈(7)采用硅胶材料制作而成。