[发明专利]流体驱动式截止阀

说明书

技术领域

本发明涉及一种具有形成于主体的阀座、与阀座抵接或分离的阀芯、与阀芯一体地连结的驱动部及供给用于对驱动部进行驱动的压缩流体的先导式开闭阀的流体驱动式截止阀。

背景技术

以往，在半导体制造装置的抗蚀剂供给装置中，使用一体地形成有回吸阀和空气驱动式截止阀的装置。在抗蚀剂供给工序中，要求高精度的抗蚀剂供给量控制。因此，需要对空气驱动式截止阀的隔膜阀芯的动作进行控制(开闭控制)。例如参照专利文献1。在这种情况下，空气驱动式截止阀的开闭控制使用电动气动式调节器。电动气动式调节器一般具有供气用电磁阀和排气用电磁阀，适当控制提供给电动气动式调节器的一次压力，通过电信号将二次压力调节为恒定。

通过电动气动式调节器的控制来控制隔膜阀芯的动作，调节由隔膜阀芯产生的水击现象。

专利文献1：日本特开平5－346185号公报

专利文献2：日本特开平11－82763号公报

专利文献3：日本特开2004－138178号公报

专利文献4：日本专利第5061258号公报

专利文献5：日本特开2010－223264号公报

发明内容

但是，在以往的空气驱动式截止阀中存在如下的问题。

从输入闭阀或开阀信号起到隔膜阀芯开始动作时间久，处理工序比较耗时。

隔膜阀芯的开闭时间的再现性由电动气动式调节器的控制精度决定。因此，当隔膜阀芯闭阀时，在隔膜阀芯的开闭时间的再现性中存在偏差。该开闭时间是指阀开始打开的时机和阀开始关闭的时机的阀的移动速度。近年来，对抗蚀剂的供给精度的要求增高，该偏差成为问题，出现与回吸阀的动作的相对关系变动的问题。

当电动气动式调节器长时间使用时，存在发热的问题。当因电动气动式调节器的发热而使回吸阀的树脂制主体产生变形时，构成上述偏差的原因。另外，因电动气动式调节器的发热也构成抗蚀液的特性发生变化的原因。

在使隔膜阀从阀座离开而开阀时，响应缓慢，处理工序比较耗时。另外，由于再现性差，响应时间存在偏差，所以存在所供给的抗蚀剂量产生偏差的问题。

本发明是鉴于上述问题而作为的，其目的在于提供一种能够提高隔膜阀芯的开闭时间的再现性并且能够加快开阀时/闭阀时的响应性的流体驱动式截止阀。

(1)为了解决上述课题，本发明的一方式的流体驱动式截止阀具有：形成有入口流路和出口流路的主体；形成于所述主体的阀座；与所述阀座抵接或分离的阀芯；与所述阀芯一体地连结的驱动部；及供给用于驱动所述驱动部的压缩流体的先导式开闭阀，所述流体驱动式截止阀的特征在于，所述先导式开闭阀具有：(a)第一针型阀、变更所述第一针型阀的开度的第一马达及仅使从所述先导式开闭阀侧流向所述驱动部侧的压缩流体流过的第一止回阀；(b)第二针型阀、变更所述第二针型阀的开度的第二马达及仅使从所述驱动部侧流向所述先导式开闭阀侧的压缩流体流过的第二止回阀，所述第一针型阀及第二针型阀分别具有针型阀芯和针型阀座，在所述第一马达与所述第一针型阀之间具备上下移动部件，在所述第二马达与所述第二针型阀之间具备上下移动部件，通过驱动所述第一马达及第二马达，经由所述上下移动部件使所述针型阀芯与所述针型阀座相对移动。

(2)在上述(1)所述的流体驱动式截止阀中，优选为，所述驱动部的活塞是隔膜方式，所述第一马达及第二马达是步进马达。

(3)在上述(1)所述的流体驱动式截止阀中，优选为，所述流体驱动式截止阀与具有入口流路的回吸阀一体地构成，所述流体驱动式截止阀的出口流路与所述回吸阀的所述入口流路连通，所述流体驱动式截止阀与所述回吸阀联动。

(4)在上述(2)或(3)所述的流体驱动式截止阀中，优选为，还具有与所述回吸阀的出口流路连通的喷嘴和设置于该喷嘴的前端的传感器，通过所述传感器来检测所述喷嘴中的流体的状态，基于该传感器的检测结果使所述第一针型阀的开度变化，调整所述隔膜阀芯的闭阀速度，基于所述传感器的检测结果使所述第二针型阀的开度变化，调节所述隔膜阀芯的开阀速度。

发明效果

具有上述结构(1)的流体驱动式截止阀具有如下所示的作用和效果。能够加快使阀芯与阀座抵接/分离而进行闭阀/开阀时的响应，能够缩短处理工序时间。另外，先导式开闭阀的驱动控制不采用电动气动式调节器那样的压力控制，而能够采用基于针型阀的速度控制。因此，能够降低隔膜阀芯的开闭时间的偏差，能够使与回吸阀的相对关系稳定化。另外，能够加快隔膜阀芯从阀座离开而进行开阀时的响应性。