[发明专利]一种单晶SiC及其制作方法在审
申请号: | 201410523774.2 | 申请日: | 2014-10-08 |
公开(公告)号: | CN105506741A | 公开(公告)日: | 2016-04-20 |
发明(设计)人: | 段兴 | 申请(专利权)人: | 段兴 |
主分类号: | C30B29/36 | 分类号: | C30B29/36;C30B7/14 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266000 山东省青*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 sic 及其 制作方法 | ||
1.涉及一种单晶SiC及其制作方法,尤其是有完整单晶SiC结构特性,可以用作面材、薄膜、线材的以单晶SiC为主、复合而成,或者纯单晶SiC组成的单晶及其制作方法,其制作方法由二步组成:网格状、集束状的单晶SiC复合体生成与二次补偿单晶SiC生成,二次补偿也可不要,如模板适宜直接第一步即可形成单晶,
其特征是:以定向附着生长(oreintedattachment)原理,形成网格状、集束、薄膜状的单晶SiC、或其复合体,具有完整SiC单晶结构特性。
2.根据权利要求1所述的单晶SiC及其制作方法,其特征是:可加入二次补偿,填平晶体网格孔隙、及缺陷,生成单晶SiC。
3.根据权利要求1所述的单晶SiC及其制作方法,其特征是:可软模板、也可纤维、薄膜类硬模板。
4.根据权利要求1所述的单晶SiC及其制作方法,其特征是:可形成SiC单晶纤维、也可薄膜。
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