[发明专利]一种用于光刻胶剥离的剥离液有效
| 申请号： | 201410525218.9 | 申请日： | 2014-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN104317172B | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 鄢艳华;康威 | 申请（专利权）人： | 深圳新宙邦科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 彭家恩;彭愿洁 |
| 地址： | 518118 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 剥离 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于光刻胶剥离的剥离液，其特征在于：所述剥离液的主要作用成分由重量份2-15％的有机胺化合物、75-97.5％的有机溶剂和0.2-10％的添加剂组成；
所述有机胺化合物由乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺组成；
所述有机溶剂由30-80重量份的二乙醇类溶剂和10-60重量份的酰胺类溶剂混合而成，所述二乙醇类溶剂为二乙二醇甲醚，所述酰胺类溶剂为N-甲基甲酰胺；
所述添加剂选自环己醇六磷酸脂、氨基酸的碱盐、苯并三氮唑、1-羟基苯并三氮唑、3-羟基甲酯-1,2,4-三氮唑和二巯基噻二唑二钠盐中的至少一种。
2.根据权利要求1所述的剥离液，其特征在于：所述添加剂由环己醇六磷酸脂和3-羟基甲酯-1,2,4-三氮唑组成。
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