[发明专利]曝光机台的遮光装置有效
| 申请号： | 201410526683.4 | 申请日： | 2014-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN105573059B | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 王宏祺 | 申请（专利权）人： | 力晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 遮光机构 曝光机台 遮光装置 曝光开口 曝光区域 形状对应 行进路径 行进路线 晶片 | ||
1.一种曝光机台的遮光装置，包括：
主遮光机构，设置于一光行进路径上；以及
辅助遮光机构，设置于该光行进路线上且位于该主遮光机构的一侧，其中
由该主遮光机构与该辅助遮光机构所形成的一曝光开口的形状对应于一晶片上的一曝光区域的形状，
其中该曝光区域包括非完整矩形曝光区域。
2.如权利要求1所述的曝光机台的遮光装置，其中该主遮光机构包括：
第一载板；
第一驱动机构，设置于该第一载板上；以及
多个主遮光板，连接于该第一驱动机构。
3.如权利要求2所述的曝光机台的遮光装置，其中该第一驱动机构包括：
多个第一导轨，设置于该第一载板上；以及
多个第一步进马达，设置于该些第一导轨上且连接于该些主遮光板。
4.如权利要求3所述的曝光机台的遮光装置，其中该第一驱动机构还包括多个第一连接件，该些第一步进马达与该些主遮光板通过该些第一连接件进行连接。
5.如权利要求1所述的曝光机台的遮光装置，其中该辅助遮光机构包括：
第二载板；
第二驱动机构，设置于该第二载板上；以及
多个辅助遮光板，连接于该第二驱动机构。
6.如权利要求5所述的曝光机台的遮光装置，其中该第二驱动机构包括：
至少一第二导轨，设置于该第二载板上；
多个第二步进马达，设置于该些第二导轨上；
多个第三导轨，连接于该些第二步进马达；以及
多个第三步进马达，设置于该些第三导轨上且连接于该些辅助遮光板。
7.如权利要求6所述的曝光机台的遮光装置，其中该第二驱动机构还包括多个第二连接件，该些第三步进马达与该些辅助遮光板通过该些第二连接件进行连接。
8.如权利要求1所述的曝光机台的遮光装置，其中该辅助遮光机构位于该主遮光机构的远离或靠近光源的一侧。
9.如权利要求1所述的曝光机台的遮光装置，其中该曝光机台包括步进曝光机台。
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