[发明专利]一种直流磁控溅射镀膜电源快速灭弧电路

权利要求书

1.一种直流磁控溅射镀膜电源快速灭弧电路，其特征在于，包括第一功率开关管和第二功率开关管，所述第一功率开关管串联在直流电源输出端上，所述第二功率开关管与所述直流电源的输出端并联，且所述第二功率开关管一端并联接到所述第一功率开关管和所述直流电源的输入端之间；所述第二功率开关管与缓冲储能电路并联；所述第一功率开关管和第二功率开关管的控制极均与控制驱动器连接；当发生打弧现象时，所述控制驱动器控制第一功率开关管关断，所述直流电源电感产生的能量转移到所述缓冲储能电路中然后开通第二功率开关管，待所述缓冲储能电路放电结束后，所述控制驱动器控制所述第二功率开关管关断，并开通所述第一功率开关管。

2. 根据权利要求1所述的直流磁控溅射镀膜电源快速灭弧电路，其特征在于，所述缓冲储能电路包括二极管和与所述二极管并联的电阻，所述二极管的阴极与电容一端串联，所述二极管的阳极接所述第二功率开关管的集电极，所述电容器的另一端接第二功率开关管的发射极。

3.根据权利要求1所述的直流磁控溅射镀膜电源快速灭弧电路，其特征在于，所述快速灭弧电路的工作周期为25us。