[发明专利]一种高精度紫外光谱辐照度测量系统有效
| 申请号： | 201410535632.8 | 申请日： | 2014-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN104374474A | 公开（公告）日： | 2015-02-25 |
| 发明（设计）人： | 王加朋;任晓婉;孙红胜 | 申请（专利权）人： | 北京振兴计量测试研究所 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28 |
| 代理公司： | 北京天达知识产权代理事务所(普通合伙) 11386 | 代理人： | 龚颐雯;马东伟 |
| 地址： | 100074 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 紫外 光谱 辐照 测量 系统 | ||
1.一种高精度紫外光谱辐照度测量系统，包括紫外漫透射片、汇聚透镜组、入射狭缝、消偏振器、折反镜、紫外分光系统和线阵紫外探测器。其特征在于：
所述紫外漫透射片是一片圆形玻璃，其直径范围为Φ10mm～Φ200mm；所述汇聚透镜组由一块凸透镜和一块凹透镜组成，两块透镜中心轴线重合，组成一个汇聚光学系统用来收集漫透射光能量,两块透镜前后表面均镀200nm～400nm增透膜，透过率范围为75％～99％，其余波段透过率较低；所述入射狭缝高度范围为1mm～40mm；所述消偏振器由两块依次放置的延迟器组合而成；所述折反镜表面镀高反膜；所述紫外分光系统是采用光栅分光方式，光栅尺寸范围为15mm×15mm～100mm×100mm。
2.根据权利要求所述的高精度紫外光谱辐照度测量系统，其特征在于:
所述紫外漫透射片的材料是氟化钙单晶材料，满足朗伯特性，余弦响应小于4％，其直径范围为Φ10mm～Φ200mm。
3.根据权利要求1所述的高精度紫外光谱辐照度测量系统，其特征在于:
所述凸透镜的口径范围为1mm～100mm，R1面半径范围为5mm～500mm，R2面半径范围为5mm～500mm，凹透镜口径范围为1mm～100mm，R3面半径范围为5mm～500mm，R4面半径范围为1mm～100mm；两个透镜中心间距d0范围为1mm～200mm。
4.根据权利要求1所述的高精度紫外光谱辐照度测量系统，其特征在于:
所述入射狭缝是可调节式结构，调节高度范围为1mm～50mm。
5.根据权利要求1所述的高精度紫外光谱辐照度测量系统，其特征在于:
所述消偏振器是由两块依次放置的楔形石英晶体组成，所述两块石英晶体的中心厚度比为1：2，楔角θ范围为0.1°～10°。
6.根据权利要求1所述的高精度紫外光谱辐照度测量系统，其特征在于:
所述折反镜的直径范围：Φ10mm～Φ100mm，所述折反镜的基底材料为熔融石英，其表面镀有高反膜，反射光谱范围覆盖200nm～400nm，光谱反射率范围为70％～98％。
7.根据权利要求1所述的高精度紫外光谱辐照度测量系统，其特征在于:
所述紫外分光系统采用消像差全息凹面光栅分光方式，所述光栅光谱范围：200nm～400nm，光栅常数：σ＝1200g/mm，光栅尺寸范围为15mm×15mm～100mm×100mm，入射光束与出射光束夹角范围为10°～180°。
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