[发明专利]多层衍射光学元件偏心误差分析方法

权利要求书

1.一种多层衍射光学元件偏心误差分析方法，其特征在于，该方法包括以下四个步骤：

(1)根据多层衍射光学元件位相延迟表达式和衍射效率公式，求出连续面型或者台阶面型多层衍射光学元件的衍射效率；

(2)在整个工作波段内，根据多色光积分衍射效率理论，确定多色光积分平均衍射效率；

(3)在整个工作波段内，确定多色光积分衍射效率最大值，以及对应的工作波长，所述对应的工作波长即为设计波长，将设计波长代入微结构高度公式，确定各层衍射元件微结构高度值；

(4)根据波动光学模型，推导出含有偏心误差的多层衍射光学元件的衍射效率表达式。

2.根据权利要求1所述的多层衍射光学元件偏心误差分析方法，其特征在于，所述的衍射效率公式为：

η_m(λ)＝sinc²[m-φ(λ)]，

式中：η_m(λ)为衍射效率，m为衍射级次，λ为工作波长，φ(λ)为多层衍射光学元件的位相延迟；

该衍射效率公式是一种sinc(x)函数，即sinc(x)＝sin(πx)/(πx)，此时，x＝[m-φ(λ)]；

当光线斜入射时，相邻周期间的位相延迟φ(λ)为：

φ(λ)=H1λ[(1-n12(λ))sin2θi1-n1(λ)cosθi1]+H2λ[(n22(λ)-sin2θi2)-cosθi2],]]>

式中，H₁,H₂表示第一、第二层衍射元件的微结构高度，λ为工作波长，θ_i1,θ_i2为光线进入第一层、第二层衍射元件的入射角，n₁(λ),n₂(λ)为基底材料在工作波长为λ时的折射率。