[发明专利]一种排风稳压器及其排风稳压方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种排风稳压器及其排风稳压方法，适用于有排风需 求且对排风压力稳定状态有较高要求的场合，最典型的应用是在半导 体设备领域，如匀胶显影机台。

背景技术

匀胶显影机台的排风系统是设备非常重要的组成部分，其主要功 能是排除工艺实现过程中的废气与多余热量，其中对匀胶的工艺效果 影响最大。作为生产型设备，匀胶显影机台的工艺一致性是其重要的 性能指标，因此排风系统工作状态的稳定性就变得尤为重要！

相对于设备的其他部分，排风系统受到厂务供给的影响较大，最 直接的表现就是厂务排风压力的不稳定。如果厂务欠压，设备内多余 热量排不出去；如果厂务压力的过量升高，则会导致匀胶过程中胶膜 偏厚；种种后果不一而足！因此有必要在设备与厂务之间增添一个装 置，在厂务不论欠压还是过压的情况下都能够保证设备排风压力处于 一个稳定的状态，这个装置就是排风稳压器。

发明内容

为了解决厂务欠压或过压两种情形造成的影响，本发明的目的在 于提供一种排风稳压器及其排风稳压方法。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

本发明的排风稳压器包括主管道、步进电机、阀板、阀板安装块、 控制电路板、风扇及压力传感器，其中主管道串联在厂务端与需要排 风的设备端之间，在所述主管道上设有阀板安装块；所述主管道靠近 厂务端的一端内设有风扇，靠近设备端的另一端设有测量孔接头，所 述压力传感器安装在该测量孔接头的上方；所述阀板安装块上安装有 步进电机，该步进电机的输出端与位于所述阀板安装块内的阀板相连 接，所述阀板通过步进电机的驱动旋转；所述控制电路板安装在阀板 安装块上，所述步进电机、风扇及压力传感器分别与该控制电路板电 连接。

其中：所述主管道分为上游管道及下游管道，该上游管道及下游 管道的一端分别与所述阀板安装块相连通，另一端均设有用于连接的 法兰；所述步进电机通过电机安装架固定在阀板安装块上，该步进电 机的输出端通过联轴器与阀板上的阀板轴相连接；

本发明排风稳压器的排风稳压方法为：通过所述压力传感器监测 测量孔接头处的设备端的压力，测得的测量压力与设定压力比较，当 测量压力大于设定压力、即厂务端处于欠压状态时，所述控制电路板 控制所述风扇工作，使设备端的压力达到设定压力；当测量压力小于 设定压力、即厂务端处于超压状态时，所述控制电路板控制所述步进 电机工作，驱动所述阀板转动，调整该阀板的开合角度，调节设备端 的压力达到设定压力；所述风扇的初始转速为0rpm，所述阀板开合 至最大角度；具体步骤为：

步骤一，开机自检：风扇的转速设为0rpm，步进电机驱动阀板 至开合最大角度；

步骤二，设定参数：设定目标排风压力，如果未设置采用默认压 力值或上一次设定值；

步骤三，厂务状态检验：读取压力传感器的测量值，比较设定压 力与测量压力，对比结果分为以下两种情况：

情况A：设定压力低于测量压力：调整阀板的开合角度，如果阀 板开合至最大时，仍然是情况A，则启动风扇转动；提高风扇转速， 直至设定压力与测量压力相符；如果风扇转至最大转速，仍然是情况 A，则发出报警，停止工作；

情况B：设定压力高于测量压力：降低风扇转速，如果风扇转速 为0rpm，仍然是情况B，则减小阀板的开合角度，直至设定压力与测 量压力相符；

步骤四，中断：在步骤三完成后等待5秒，之后跳至步骤二，重 复循环。

本发明的优点与积极效果为：

1.本发明的排风稳压器结构简单、适应性好，通过步进电机调 整阀板的开合角度，及通过调整风扇的转速，在厂务欠压或超压状态 时，均可以调节设备端排风接口压力到设定值。

2.本发明的排风稳压方法操作简便，快速。

附图说明

图1为本发明的结构原理图；

图2为本发明的结构主视图；

图3为图2的C—C剖视图；

图4为本发明的立体结构示意图；

图5为本发明的控制流程图；

其中：1为主管道，101为上游管道，102为下游管道，2为步进 电机，3为电机安装架，4为联轴器，5为阀板轴，6为阀板，7为阀 板安装块，8为控制电路板，9为风扇，10为测量孔接头，11为压力 传感器。