[发明专利]一种改善图案化蓝宝石衬底良品率的方法有效
| 申请号： | 201410540402.0 | 申请日： | 2014-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN104377285A | 公开（公告）日： | 2015-02-25 |
| 发明（设计）人： | 王晓靁;刘伯彦;徐常基;钟其龙 | 申请（专利权）人： | 厦门润晶光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/20 | 分类号： | H01L33/20;H01L33/00 |
| 代理公司： | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人： | 李宁 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 改善 图案 蓝宝石 衬底 良品率 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种改善图案化蓝宝石衬底良品率的方法，其特征在于步骤是：
第一步，在蓝宝石上进行多层阻挡层涂覆；
第二步，在阻挡层上进行黄光微影制程；
第三步，在阻挡层上进行多层阻挡层蚀刻；
第四步，在蓝宝石上进行蓝宝石蚀刻；
第五步，清洗。
2.如权利要求1所述的一种改善图案化蓝宝石衬底良品率的方法，其特征在于：第一步的多层阻挡层涂覆为三层结构，底层为有机底部抗反射涂层Organic BARC，中间层为含硅底部抗反射涂层Si-BARC，顶层为紫外光i-line 365nm光阻剂或光刻胶 i-line photoresist。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于厦门润晶光电有限公司，未经厦门润晶光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410540402.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：信道状态信息（CSI）反馈及码本子采样
- 下一篇：多功能夹具
