[发明专利]图案形成方法

权利要求书

1.一种图案形成方法，在该图案形成方法中，使用计算机来形成构成导电性薄膜中的导电部的布线图案，所述导电性薄膜在透明薄膜基材上具备导电部和开口部，其特征在于，

所述导电部具备主线路图案和多个副线路，该主线路图案由沿第1方向形成的多个波状线路在与所述第1方向垂直的第2方向上排列而成，该多个副线路将相邻的波状线路间电连接，

该图案形成方法包括以下步骤：

输入初始函数的步骤；

第1步骤，在对所述初始函数的至少周期进行随机变更的同时，在第1方向上形成波状线路的图案；

第2步骤，对所描绘的所述波状线路以及与该波状线路相邻的波状线路在与所述第1方向垂直的方向即第2方向上的间隔进行随机变更；

第3步骤，反复执行所述第1步骤和第2步骤，形成沿所述第1方向形成的多个波状线路在与所述第1方向垂直的所述第2方向上排列而成的所述主线路图案；以及

第4步骤，在将相邻的波状线路间定义为行间时，在所述主线路图案中的各行间处，形成2个以上的连接相邻的波状线路的副线路的图案。

2.如权利要求1所述的图案形成方法，其特征在于，通过在所述第1步骤中在所述计算机的图像存储器中描绘所述波状线路的图案，由此在所述第3步骤中在所述图像存储器中描绘所述主线路图案，

在所述第4步骤中，在所述图像存储器中描绘所述副线路的图案，

在所述图像存储器中描绘所述布线图案。

3.如权利要求1所述的图案形成方法，其特征在于，

所述初始函数为正弦波函数，

在所述第1步骤中，在按照半周期对至少所述正弦波的周期进行随机变更的同时，形成所述正弦波的半周期的波状线，而形成所述波状线路的图案。

4.如权利要求3所述的图案形成方法，其特征在于，

在所述第1步骤中，在按照半周期对至少所述正弦波的周期和振幅进行随机变更的同时，形成所述正弦波的半周期的波状线，而形成所述波状线路的图案。

5.如权利要求3所述的图案形成方法，其特征在于，在所述第1步骤中，在按照半周期对至少所述正弦波的周期、振幅和相位进行随机变更的同时，形成所述正弦波的半周期的波状线，而形成所述波状线路的图案。

6.如权利要求3所述的图案形成方法，其特征在于，在所述第1步骤中，在按照半周期对周期、振幅、相位和线宽进行随机变更的同时，形成所述正弦波的半周期的波状线，而形成所述波状线路的图案。

7.如权利要求3所述的图案形成方法，其特征在于，在所述第2步骤中，将一个波状线路中的所述波状线的振幅的最大值限制在该波状线路和与该波状线路相邻的另一个波状线路间的间隔的1/2以下来设定所述间隔。

8.如权利要求1所述的图案形成方法，其特征在于，在所述第4步骤中，形成沿所述第2方向的直线状的所述副线路的图案。

9.如权利要求1所述的图案形成方法，其特征在于，在所述第4步骤中，在各行间分别对所述副线路的位置进行随机变更的同时，形成所述副线路的图案。

10.如权利要求1所述的图案形成方法，其特征在于，所述布线图案中，被相邻的波状线路的各中心线、和该相邻的波状线路间的相邻的副线路的各中心线围成的封闭区域的形状是四边形，

所述封闭区域具有排列多个的形态。

11.如权利要求10所述的图案形成方法，其特征在于，各所述封闭区域的面积大致相同。

12.如权利要求10所述的图案形成方法，其特征在于，各所述封闭区域的周长大致相同。

13.如权利要求10所述的图案形成方法，其特征在于，在设第1边的长度为L1、设第2边的长度为L2时，所述第1边的长度L1与所述第2边的长度L2之比L1/L2为5以上，其中，所述第1边基于构成所述封闭区域的波状线路的中心线，所述第2边基于构成所述封闭区域的副线路的中心线。